[实用新型]一种再生混氢装置有效

专利信息
申请号: 201820831655.7 申请日: 2018-05-31
公开(公告)号: CN208389801U 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 江晓松 申请(专利权)人: 先普半导体技术(上海)有限公司
主分类号: B01F3/02 分类号: B01F3/02
代理公司: 上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336 代理人: 牟俊玲
地址: 201108 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 管道连通 氢气 三通管 柜体 进管 气动隔膜阀 氢气流量计 单向阀 再生 连通 本实用新型 柜体内部 混合气体 调压阀 计量阀 内顶部 再生罐 底端 安全生产 威胁 帮助
【说明书】:

本实用新型公开了一种再生混氢装置,属于混合气体技术领域。它包括一种再生混氢装置,包括柜体,所述柜体的底部设有两个再生罐,所述柜体的内顶部设有氢气进管,所述柜体内部的中间位置设有三通管,所述氢气进管的一端连通有调压阀,所述氢气进管的一侧通过管道连通有氢气流量计,所述氢气流量计的顶端一侧通过管道连通有单向阀,所述单向阀的一端通过管道连通有第一气动隔膜阀,所述第一气动隔膜阀的底端与三通管的一端相连通,所述三通管的中间位置通过管道连通有计量阀。解决了纯化后的氢气对周边的环境会产生巨大威胁的问题,降低了工作人员所处环境的风险,同时对企业的安全生产起到了帮助作用。

技术领域

本实用新型涉及一种再生混氢装置,属于混合气体技术领域。

背景技术

在化学工业及电子工业的很多工艺中大量使用超高纯度的氢气。而工业制备出的氢气气体中通常含有一些反应物、反应过程中的中间产物以及水等杂质,因其化学性质而使气体无法适用于高工艺性的要求。因此要对超高纯度气体中的各种杂质进行除杂对氢气气体进行纯化再生,然而现有工艺技术中,纯化再生后的氢气由于其特殊的理化性质,因此在单独存储纯化后的氢气时,对周边的环境会产生巨大的威胁,不仅威胁到工人的生命,还会对企业的生产产生影响。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于:提供一种再生混氢装置,它解决了再生氢气单独存储时安全的问题。

本实用新型所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现:

一种再生混氢装置,包括柜体,所述柜体的底部设有两个再生罐,所述柜体的内顶部设有氢气进管,所述柜体内部的中间位置设有三通管,所述氢气进管的一端连通有调压阀,所述氢气进管的一侧通过管道连通有氢气流量计,所述氢气流量计的顶端一侧通过管道连通有单向阀,所述单向阀的一端通过管道连通有第一气动隔膜阀,所述第一气动隔膜阀的底端与三通管的一端相连通,所述三通管的中间位置通过管道连通有计量阀,所述计量阀的顶端通过管道连通有第二气动隔膜阀,所述第二气动隔膜阀的一端通过管道与其中一个再生罐相连通,所述柜体的内部设有针阀,所述针阀的底端所连通的管道上固定连接有铝板,所述铝板的顶部设有弯管,且所述弯管的两端分别固定铝板的两端,所述针阀的顶部通过管道与弯管的中间位置相连通,所述弯管的底部两端分别通过管道与两个再生罐的顶部相连通。

作为优选实例,所述三通管的另一端通过管道连通有开关压力表。作为优选实例,所述再生罐内储存有再生氮气。

本实用新型的有益效果是:本实用新型结构简单,首先将再生氢气通过氢气进管进入整个管道内,然后依次利用调压阀,氢气流量计、单向阀、第一气动隔膜阀和第二气动隔膜阀的调节,使再生氢气与再生氮气均匀混合,确保混合后的比例低于爆炸极限,接着再通过计量阀及针阀,将再生罐内的压力稳定在指定的范围内,调节再生氢气压力,调节氢气流量计至混气流量,保证混气的效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型A部分的结构示意图;

图3为本实用新型B部分的结构示意图;

图4为本实用新型C部分的结构示意图;

图5为本实用新型D部分的结构示意图。

图中:柜体1、再生罐2、氢气进管3、调压阀4、氢气流量计5、单向阀6、第一气动隔膜阀7、计量阀8、第二气动隔膜阀9、铝板10、开关压力表11、弯管12、针阀13。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。

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