[实用新型]一种温控双频声表面波谐振器

权利要求书

1.一种温控双频声表面波谐振器，其特征是：包括压电基片（1）、叉指换能器（2）、分置于叉指换能器（2）两侧的短路反射器（3），所述叉指换能器（2）包括浮置复合叉指阵列及其浮置复合叉指阵列两端的输入汇流电极（21）和输出汇流电极（22），所述短路反射器（3）包括浮置金属反射指阵列及其浮置金属反射指阵列两端的接地汇流电极（31）；

所述浮置复合叉指阵列包括若干浮置复合指（23），所述浮置复合指（23）包括依次相连的金属指（231）、介质延长指（232）和金属连接指（233）三个部分，所述金属指（231）、金属连接指（233）的内端均附有连接凸块（234），所述介质延长指（232）的两端附有连接凹槽（235），所述金属指（231）内端的连接凸块（234）与介质延长指（232）一端的连接凹槽（235）相嵌，介质延长指（232）另一端的连接凹槽（235）与金属连接指（233）内端的连接凸块（234）相嵌，所述各个浮置复合指（23）浮置于压电基片（1）表面，其下表面与压电基片（1）表面紧密贴合；

所述浮置复合叉指阵列的若干浮置复合指（23）分作两组，按周期排列，其中一组浮置复合指（23）的金属指（231）外端汇接于输入汇流电极（21），其金属连接指（233）外端汇接于输出汇流电极（22），而另一组浮置复合指的金属指（231）外端汇接于输出汇流电极（22），其金属连接指（233）外端汇接于输入汇流电极（21），两组浮置复合指（23）相互交错排列，两组浮置复合指（23）的金属指部分相互交叉排列，构成叉指状结构；

所述浮置金属反射指阵列包括若干按周期排列的浮置金属反射指（32），所述各个浮置金属反射指（32）的两端汇接于接地汇流电极（31），所述各个浮置金属反射指（32）浮置于压电基片（1）表面，其下表面与压电基片（1）表面紧密贴合；

所述输入汇流电极（21）、输出汇流电极（22）和接地汇流电极（31）与压电基片（1）之间自下而上依次嵌有底层黏附层（4）、柔性介质层（5）、中间黏附层（6），所述底层黏附层（4）、柔性介质层（5）、中间黏附层（6）均与对应的输入汇流电极（21）、输出汇流电极（22）、接地汇流电极（31）同形。

2.根据权利要求1所述的一种温控双频声表面波谐振器，其特征是：所述压电基片（1）的材料为石英单晶或者铌酸锂单晶。

3.根据权利要求1所述的一种温控双频声表面波谐振器，其特征是：所述输入汇流电极（21）、输出汇流电极（22）和接地汇流电极（31）的材料为形状记忆合金。

4.根据权利要求1所述的一种温控双频声表面波谐振器，其特征是：所述金属指（231）和金属连接指（233）的材料为金或者重质铝铜合金。

5.根据权利要求1所述的一种温控双频声表面波谐振器，其特征是：所述介质延长指（232）的材料为氮化硅或者二氧化硅。

6.根据权利要求1所述的一种温控双频声表面波谐振器，其特征是：所述柔性介质层（5）的材料为聚酰亚胺或者PDMS。

7.根据权利要求1所述的一种温控双频声表面波谐振器，其特征是：所述底层黏附层（4）、中间黏附层（6）的材料为Cr或者Pt。