[实用新型]反射差分光学测量装置

权利要求书

1.一种反射差分光学测量装置，其特征在于，包括：

入射源；

入射源处理装置，对所述入射源的光进行处理以输出平行的入射光束；

分束器，将入射源输出的入射光束反射进入光路，使通过分束器的出射光束继续透射到光路中；

反射差分组件，对入射光束和/或出射光束进行偏振态和/或相位延迟上的调制；

出射源处理装置，使出射光束汇聚进入出射源；

出射源，收集出射光束并将其输出测量装置；

样品表面的入射光束和出射光束间的夹角为0°。

2.根据权利要求1所述的反射差分光学测量装置，其特征在于，所述反射差分组件包括：

偏振器，用于将经由分束器入射的非偏振光调制为线性偏振光，同时用于检测样品表面的出射光束在当前偏振方向上的振幅；

调制器，用于将经由所述偏振器入射的线性偏振光产生相位延迟后垂直入射样品表面；样品表面的出射光束再通过所述调制器后输入所述偏振器进行偏振态检测后，输入至所述分束器。

3.根据权利要求2所述的反射差分光学测量装置，其特征在于，还包括：

第一旋转装置，与所述偏振器连接，所述第一旋转装置旋转至一方位角后静止；

第二旋转装置，与所述调制器连接，所述第二旋转装置在每一次测量过程中均需要旋转n个角度，其中n＞3；所述第一旋转装置和所述第二旋转装置均通过步进马达驱动；

光探测器，与所述出射源的输出端连接。

4.根据权利要求1所述的反射差分光学测量装置，其特征在于，所述出射源处理装置包括：

平面镜，用于反射所述分束器输出的出射光束；

凹面镜，汇聚所述平面镜的出射光束使其进入所述出射源。

5.根据权利要求1所述的反射差分光学测量装置，其特征在于，所述入射源处理装置为离轴抛物反射镜。

6.根据权利要求1至5任一项所述的反射差分光学测量装置，其特征在于，所述入射源为入射光纤；所述出射源为出射光纤。

7.根据权利要求1至5任一项所述的反射差分光学测量装置，其特征在于，所述分束器包括平板分束镜、立方分束镜和/或薄膜分束镜。

8.根据权利要求2所述的反射差分光学测量装置，其特征在于，所述调制器为消色差的四分之一波片；所述偏振器包括薄膜偏振片、线栅偏振片和/或双折射晶体。

9.根据权利要求1至5任一项所述的反射差分光学测量装置，其特征在于，光谱测量范围为250～1000nm，测试样品直径为1～8mm。