[实用新型]一种半导体测试设备

说明书

本实用新型公开了一种半导体测试设备，所述检测仓内壁上端中间部位设置有夹具，夹具下端连接探针卡，探针卡下端连接探针，所述夹具左侧设置有传感器组，所述夹具右侧设置监控装置,所述检测仓内壁底部设置有液压杆，液压杆上端连接出仓装置，出仓装置上端连接支撑台，支撑台左右两端滑动连接滑轨，所述检测仓外壁设置有操控台，当工作人员完成测试时，首先滑板通过检测仓表面通孔伸出设备内部，所述限位装置防止滑板偏离滑槽，所述支撑板a配合电机上下运动，所述支撑柱给限位孔内晶圆的限位柱施加压力，工作人员轻松取出晶圆，本检测设备结构合理，操作简单，晶圆的取放方便，十分适合用作半导体测试。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试设备，具体是一种半导体测试设备。

背景技术

一种半导体测试设备是用于测试制造的半导体器件的故障以及在运输到市场前根据测试结果对半导体器件进行分类的设备。

目前，进行半导体测试时，通过将探针卡上的探针直接与芯片上的测试垫直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，半导体器件有定制的托盘盛放，但是，定制托盘表面设置有开口用来对半导体限位，测试人员在拿取过程中可能损坏半导体。因此，本领域技术人员提供了一种半导体测试设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体测试设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体测试设备，所述检测仓内壁上端中间部位设置有夹具，夹具下端连接探针卡，探针卡下端连接探针，所述夹具左侧设置有传感器组，所述夹具右侧设置监控装置, 所述检测仓内壁底部设置有液压杆，液压杆上端连接出仓装置，出仓装置上端连接支撑台，支撑台左右两端滑动连接滑轨，所述检测仓外壁设置有操控台；

所述支撑台包括支撑板、限位孔和支撑柱，所述支撑板正下方平行设置有支撑板a，支撑板a一端设置有限位块，所述支撑板a通过限位块滑动连接滑轨，滑轨固定连接支撑板，所述支撑板a表面固定连接电机，电机轴部连接丝杆，所述支撑板与丝杆位置、尺寸对应镶嵌有螺母装置；

所述出仓装置包括电机a、滑板和滑板a，所述滑板左右两端均设置有电机a，电机a轴部连接滚轮，所述滑板通过滚轮滑动连接滑板a，所述滑板a与滚轮位置对应设置有滑槽。

作为本实用新型进一步的方案：所述支撑板表面设置有限位孔，所述支撑板a与限位孔位置对应设置有支撑柱，且支撑柱上下两端直径与限位孔相同，且支撑柱高度大于限位孔高度。

作为本实用新型再进一步的方案：所述支撑台左右两端均设置有滑块，所述支撑台通过滑块滑动连接滑轨。

作为本实用新型再进一步的方案：所述液压杆下降到最低位置时，所述检测仓表面与支撑台和出仓装置位置对应设置有通孔，且通孔尺寸大于支撑台和出仓装置共同的尺寸。

作为本实用新型再进一步的方案：所述检测仓表面与探针位置对应设置有观察窗，且观察窗材质为钢化玻璃。

作为本实用新型再进一步的方案：所述滑板a设有滑槽的一端表面中间部位设置有限位装置，限位装置设计成“T”形，且滑板与限位装置尺寸和位置对应设置有滑槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在结构上设计简单合理，使用起来操作方便快捷，实用性很高，本检测装置用于对半导体进行检测，所述传感器组内部设置有光电传感器、红外线传感器和热敏感应器，工作人员通过所述观察窗配合监控装置对探针的状态进行观察，防止损坏的探针对半导体进行检测，所述液压杆带动支撑台上下运动，从而使晶圆与探针接触，工作人员通过操控台呈现的信息对半导体质量进行判断。