[实用新型]一种恒温吸附平台和一种恒温控制的面板

权利要求书

1.一种恒温吸附平台，包括面板、蜂窝芯、框架和底板，所述面板和所述底板连接在所述框架的上下两侧，所述蜂窝芯填充在所述框架内，所述底板上设有若干个抽风法兰安装孔，其中所述面板上设有多个吸附小孔，其特征在于：在所述面板的板内还贯穿设置多个流道，所述流道与所述吸附小孔错位间隔排列。

2.根据权利要求1所述的恒温吸附平台，其特征在于：所述吸附小孔设置在所述面板的上表面上，在所述面板的内侧与所述吸附小孔相对应的同心设置吸附工艺孔，所述吸附工艺孔的顶面与所述吸附小孔的底面同轴的连通，且所述吸附工艺孔的孔径大于所述吸附小孔的孔径。

3.根据权利要求1或2所述的恒温吸附平台，其特征在于：在加工完所述流道后封堵所述流道在所述面板两端侧的端面，并在所述面板两端内侧分别加工多个连通孔和两个出入口孔，所述连通孔将流道连通形成一条环状通道。

4.根据权利要求1或2所述的恒温吸附平台，其特征在于：在所述面板的两端分别设置进口管总成和出口管总成，所述进口管总成和所述出口管总成分别包括对应所述流道的进口歧管和进口总管以及出口歧管和出口总管。

5.根据权利要求3所述的恒温吸附平台，其特征在于：在所述连通孔和出入口孔的外周一侧的面板上设有多个安装螺纹孔。

6.根据权利要求5所述的恒温吸附平台，其特征在于：所述恒温吸附平台还包括在所述面板的两端与所述连通孔所在位置对应的设置密封垫一和密封垫二，在所述密封垫一和密封垫二上与面板上的安装螺纹孔和出入口孔对应位置分别设有螺栓过孔和与接头过孔。

7.根据权利要求6所述的恒温吸附平台，其特征在于：在所述密封垫一和密封垫二上方分别安置盖板一和盖板二，在所述盖板一和盖板二上设置与所述安装螺纹孔和出入口孔对应的多个压盖安装孔和两个接头安装孔，并与所述接头安装孔连接安装有入口接头和出口接头，用于与外部设备的管路连接。

8.根据权利要求1所述的恒温吸附平台，其特征在于：所述框架由多根型材连接而成，并用中间的型材将框架隔成两个及以上的独立区域，并将所述蜂窝芯填充在所述独立区域内。

9.根据权利要求8所述的恒温吸附平台，其特征在于：所述抽风法兰安装孔的数量与所述框架的独立区域的个数相同，并将抽风法兰安装孔设置在对应独立区域的中心处，以此形成对应数量的独立吸附区域。

10.一种恒温控制的面板，所述面板包括板体，在所述板体的正面设置纵横排列的若干吸附小孔，从所述面板的背面向正面延伸与所述吸附小孔相对应的同轴设置吸附工艺孔，所述吸附工艺孔的顶面与所述吸附小孔的底面同轴的连通，且所述吸附工艺孔的孔径大于所述吸附小孔的孔径，其特征在于：在所述面板的板体内部还贯穿设置多个流道，所述流道与同轴设置的所述吸附小孔和吸附工艺孔错位间隔排列。