[实用新型]一种用于晶片的定位筛盘结构

说明书

本实用新型系提供一种用于晶片的定位筛盘结构，包括筛盘本体和密封盖板，筛盘本体上设有n个真空槽和n个真空管道，2≤n≤6，各个真空管道分别连通各个真空槽，筛盘本体中与真空槽相对的一面设有容料槽，容料槽与n个真空槽的位置对应匹配；每个真空槽内均设有k个真空吸孔，容料槽内设有nk个定位凹槽，各个真空吸孔对应连接各个定位凹槽。本实用新型设置多个独立的真空分区，每个真空分区都单独连接有抽真空管道，能够有效提高各个独立分区的真空吸附力，筛盘整体的定位能力强，可有效防止定位好的晶片发生偏移，同时能够有效简化故障排查的操作，可进行高效且针对性强的故障排查。

技术领域

本实用新型涉及微型电子元件的制造工具，具体公开了一种用于晶片的定位筛盘结构。

背景技术

晶片是微型电子元件的核心结构，在二极管、三极管等电子元件的制作过程中，需要将晶片固定于框架上，然后再进行注塑封装的操作。

在固晶的过程中，晶片需摆放整齐，以便加工设备转移晶片到框架上，为提高加工效率，晶片需要以一定的朝向进行摆放才能够满足加工要求，对于散装的晶片需要配合筛盘进行位置调整的操作，筛盘中的真空吸孔配合外部的真空发生器完成定位的加工。为提高晶片的定位效率，现有的筛盘一般设置有大量的真空吸孔，这种筛盘很容易出现漏气的情况，漏气会影响定位筛盘整体的定位操作，且现有筛盘的定位能力不够强，晶片容易发生偏移。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种用于晶片的定位筛盘结构，设置多个独立的真空分区，能够有效提高各个分区的真空吸附力，故障排查方便，且定位能力强。

为解决现有技术问题，本实用新型公开一种用于晶片的定位筛盘结构，包括筛盘本体和密封盖板，筛盘本体上设有n个真空槽和n个真空管道，2≤n≤6，各个真空管道分别连通各个真空槽，筛盘本体中远离真空槽的一面设有容料槽，容料槽与n个真空槽的位置对应匹配，密封盖板固定连接于筛盘本体靠近真空槽的一侧；

每个真空槽内均设有k个真空吸孔，容料槽内设有nk个定位凹槽，各个真空吸孔对应连接各个定位凹槽。

进一步的，真空槽和真空管道分别设有n＝4个。

进一步的，各个真空管道远离真空槽的一端均通向筛盘本体的同一侧。

进一步的，k个真空吸孔以pq的阵列排布于真空槽中，10≤p≤20，60≤q≤100。

进一步的，真空吸孔和定位凹槽之间还连接有收窄通道，真空吸孔的直径为R，收窄通道的直径为r，r<R。

进一步的，定位凹槽为矩形，定位凹槽的最小边长为D，D>r。

进一步的，r≤0.5D。

本实用新型的有益效果为：本实用新型公开一种用于晶片的定位筛盘结构，设置多个独立的真空分区，每个真空分区都单独连接有对应的抽真空管道，能够有效缩小真空泵所需抽真空的体积，从而有效提高各个独立分区的真空吸附力，筛盘整体的定位能力强，可有效防止定位好的晶片发生偏移，同时能够有效简化故障排查的操作，可进行高效且针对性强的故障排查。

附图说明

图1为本实用新型的拆分立体结构示意图。

图2为本实用新型的侧视结构示意图。

图3为本实用新型沿图2中A-A’的剖面结构示意图。

图4为本实用新型在图3中B的放大结构示意图。

附图标记为：筛盘本体10、真空槽11、真空吸孔111、收窄通道112、真空管道12、容料槽13、定位凹槽131、密封盖板20。

具体实施方式