[实用新型]一种ARC后部磁场调整机构有效
| 申请号： | 201820808461.5 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208308948U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 刘晓华 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却法兰 靶材 焊接件 磁场调整机构 手柄 中空结构 磁铁座 磁铁 溅射 离子 本实用新型 安装螺母 磁铁安装 端部连接 对称焊接 冷却水路 冷却装置 螺纹安装 手柄机构 有效调整 运行性能 大颗粒 结合力 可调整 螺母盖 上端 靶座 对靶 弧源 膜层 水嘴 磁场 冷却 贯穿 外部 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种ARC后部磁场调整机构，其特征在于：靶材座（2）上部安装靶材（1），靶材座（2）下方设有冷却法兰（4），冷却法兰（4）外部对称焊接有冷却法兰焊接件（12），冷却法兰焊接件（12）与靶材座（2）固定连接，冷却法兰焊接件（12）为中空结构，冷却法兰焊接件（12）端部连接水嘴（3），冷却法兰焊接件（12）、冷却法兰（4）上部和靶材座（2）之间的中空结构构成冷却水路；冷却法兰（4）下部安装螺母盖（5），贯穿螺母盖（5）螺纹安装手柄（6），位于冷却法兰（4）内部的手柄（6）上端安装磁铁座（8），磁铁座（8）上安装磁铁（10）。
2.根据权利要求1所述的一种ARC后部磁场调整机构，其特征在于：所述磁铁座（8）通过椎端顶丝（7）固定于手柄（6）上。
3.根据权利要求1所述的一种ARC后部磁场调整机构，其特征在于：所述磁铁座（8）外部安装绝缘的定位套（9）。
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