[实用新型]物料回收装置

说明书

本实用新型涉及化工生产领域，公开了一种物料回收装置。所述物料回收装置包括：灌装有用于溶解物料的液体的储液罐(1)、以及置于惰性环境中用于存放所述物料的容器(C)，所述储液罐(1)上设有用于引入惰性气体的气体进口和用于排出所述液体的液体出口，所述容器具有与所述储液罐(1)的所述液体出口相连的入口以及用于与接收所述容器内物料的接收装置连接的出口，所述容器上设有用于引入惰性气体的进口。本实用新型在回收过程中由于容器始终置于惰性气体环境，能够有效保证操作安全性，无需提前利用氮气置换空气，避免了在大气环境中完成上述操作所带来的危险。

技术领域

本实用新型属于化工生产领域，具体地涉及一种物料回收装置。

背景技术

高纯金属有机化合物(MO源)，是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，可用来生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。

高纯金属有机化合物是具有非常活泼的化学性质的结晶固体，对空气和水极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。因此在运输和使用过程中通常在隔氧隔水的特殊钢瓶中保存。MO源是昂贵的半导体化学品材料，由于在钢瓶中固态储存，使用过程中无法充分利用，导致存在残留造成浪费。因此，对钢瓶中残余的MO源进行回收利用，对于降低企业生产成本，增加企业利润具有重大意义。

现有的有插底管钢瓶中残留的MO源回收具体过程为：大气环境下，先将钢瓶上的两个产品出口管道中的空气用惰性气体氮气置换，然后将乙醚通过管道压入钢瓶中，使其与MO源相溶成液态，然后通过氮气再压出到合成反应釜中，这个过程需要耗时一个小时，过程非常漫长，且是在大气环境中，操作不当会产生一定的危险。

因此，需要设计一种置换时间短、效率高、操作安全且不会造成乙醚浪费的MO源回收装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的置换时间长、效率低、操作存在危险的问题，提供一种物料回收装置，该装置具有操作安全、稳定的优点。

为了实现上述目的，本实用新型一方面提供一种物料回收装置，包括：

灌装有用于溶解物料的液体的储液罐、以及置于惰性环境中用于存放所述物料的容器，所述储液罐上设有用于引入惰性气体的气体进口和用于排出所述液体的液体出口，所述容器具有与所述储液罐的所述液体出口相连的入口以及用于与接收所述容器内物料的接收装置连接的出口，所述容器上设有用于引入惰性气体的进口。

优选地，所述气体进口连接有第一管道，所述液体出口连接有用于与所述接收装置相连的第二管道，所述第二管道上设置有用于与所述容器的所述入口相连的第一支路和与所述容器的所述出口相连的第二支路，所述第一支路和所述第二支路上分别设置有阀门，所述第一管道上设有用于控制所述储液罐的所述气体进口开关的第一阀门，所述储液罐的所述液体出口与所述第一支路之间的所述第二管道上设有用于控制所述液体出口开关的第二阀门；所述第二管道的位于所述第二支路和所述接收装置之间的部分上设置有第五阀门。

优选地，所述物料回收装置还包括用于引入惰性气体的第三管道，所述第三管道连通至所述第二管道的位于所述第二阀门和所述第一支路之间的部分上。

优选地，所述第三管道连通至所述第一管道上以引入惰性气体所述第三管道上设有第三阀门。

优选地，所述第二管道的位于所述第二阀门和所述第一支路之间的部分上设有用于监测所述第二管道内压力的压力感应装置，所述物料回收装置还包括控制单元，所述控制单元根据所述压力感应装置检测的压力以控制所述第二阀门、第三阀门、第五阀门和第一阀门开关。