[实用新型]物料接收装置及MO源精馏装置

说明书

本实用新型涉及化工设备技术领域，公开了一种物料接收装置及MO源精馏装置。所述物料接收装置包括：置于惰性气体环境中用于对液态物料进行冷却以形成固态物料的接收罐(1)，所述接收罐(1)上设有用于引入液态物料的第一进料口、用于引入对所述液态物料进行冷却的冷却介质的第二进料口以及用于排气的排气口。本实用新型物料接收装置直接与产线出来的液态物料相连接，在接收罐中对液态物料进行冷却凝固后再回收，使得该接收装置的回收效率高，不会造成接收过程中物料浪费，且能够防止管路堵塞。此外，接收过程是在惰性气体环境中进行，极大提高了接收过程的安全性，能够有效地将物料与空气隔绝，避免发生泄漏燃烧、造成火灾等重大事故的隐患。

技术领域

本实用新型涉及化工设备技术领域，具体地涉及一种物料接收装置及 MO源精馏装置。

背景技术

高纯金属有机化合物(MO源)，是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD) 技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，可用来生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等，是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。

高纯金属有机化合物是一种具有非常活泼的化学性质的结晶固体，对空气和水极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。目前MO源精馏产线中对MO源接收方式普遍存在接收效率不高、存在安全隐患等问题，比如针对三甲基铟来说，由于三甲基铟在常温常压下是结晶的白色固体，接收过程中，直接对固态的三甲基铟产品进行接收，导致这种接收方式效率不高，容易造成管道堵塞，且三甲基铟在凝结成固体颗粒时容易产生结块和颗粒不均匀的现象，难以满足产品的实际使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的MO源产品接收效率不高问题，提供一种物料接收装置，该装置回收效率高，不会造成接收过程中物料浪费，且接收过程中能够有效地将物料与空气隔绝，避免发生泄漏燃烧、造成火灾等重大事故的隐患。

为了实现上述目的，本实用新型一方面提供一种物料接收装置，包括：置于惰性气体环境中用于对液态物料进行冷却以形成固态物料的接收罐，所述接收罐上设有用于引入液态物料的第一进料口、用于引入对所述液态物料进行冷却的冷却介质的第二进料口以及用于排气的排气口。

优选地，所述第一进料口处设有用于控制液态物料流量的滴头。

优选地，所述接收罐内设有过滤网，所述过滤网设置在高于所述冷却介质液面的位置处。

优选地，所述接收罐设置在容纳惰性气体的手套箱中。

优选地，所述第一进料口连接有用于液态的所述物料输入的第一管路，所述第一管路上设置有第一阀门，所述第二进料口上连接有用于所述冷却介质输入的第二管路，所述第二管路上设置有第二阀门，所述排气口上设置有出气管路，所述出气管路上设置有第三阀门。

优选地，所述物料接收装置还包括控制单元，所述控制单元与所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门连接。

优选地，所述接收罐上设有用于感应所述接收罐内部压力的压力感应装置，所述压力感应装置与所述控制单元连接。

优选地，所述接收罐上设置有测量所述冷却介质的量的冷却介质计量器。

优选地，所述第二管路与盛放液氮的液氮罐连接。

本实用新型第二方面提供一种MO源精馏装置，包括以上任意所述的物料接收装置。

通过上述技术方案，本实用新型物料接收装置直接与产线出来的液态物料相连接，在接收罐中对液态物料进行冷却凝固后再回收，使得该接收装置的回收效率高，不会造成接收过程中物料浪费，且能够防止管路堵塞。此外，接收过程是在惰性气体环境中进行，极大提高了接收过程的安全性，能够有效地将物料与空气隔绝，避免发生泄漏燃烧、造成火灾等重大事故的隐患。