[实用新型]一种流体泵及激振元件

权利要求书

1.一种流体泵，其特征在于：包括：

压电振子(10)，所述压电振子(10)包括振动基板(2)和设于所述振动基板(2)一侧的压电元件(1)；

振动隔膜(3)，所述振动隔膜(3)配置于所述振动基板(2)的另一侧，所述振动基板(2)靠近所述振动隔膜(3)的一侧设有沉腔(21)；

平面部(4)，所述平面部(4)以靠近且相对的方式配置于所述振动隔膜(3)远离振动基板(2)的一侧，所述平面部(4)与所述沉腔相对的区域内至少设有一个通气孔(41)；

通过对所述压电元件(1)施加一定频率的交变电压，振动基板(2)发生弯曲变形，使振动隔膜(3)产生谐振并随着振动基板(2)朝着相同的方向弯曲变形，从所述通气孔(41)吸入流体，从通气孔(41)的周向方向排出。

2.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述平面部(4)与所述沉腔(21)对应的部分为弹性板，所述平面部(4)位于所述沉腔(21)的周向部分为刚性板或者做固定约束。

3.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述振动隔膜(3)固定于所述振动基板(2)，所述振动隔膜(3)与所述沉腔(21)相对的部分能够弯曲振动，所述振动隔膜(3)位于所述沉腔(21)的周向部分作固定约束。

4.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述压电元件(1)和振动基板(2)对中设置并粘接为一体构成压电振子(10)，所述压电振子(10)从其中心部位到周边部位能够发生弯曲振动。

5.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述沉腔(21)置于所述振动基板(2)的中心部位，所述沉腔(21)为圆形。

6.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述流体泵还包括支撑板(5)和上盖板(6)，支撑板(5)设置在平面部(4)上，且二者密封连接，上盖板(6)设置在支撑板(5)上，同样地上盖板(6)与支撑板(5)也为密封连接，从而构建了空腔(51)，其中，上盖板(6)的中心或是其他位置设置有一个通孔(61)，通过通孔(61)与外部大气联通。

7.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述振动基板(2)包括中间振动区、四周支撑部分、弹性连接部分(23)以及第一导线焊接部分(22)，所述流体泵还包括上盖板(6)、第一支撑板(50)、第二支撑板(53)、第三支撑板(54)以及电极片(52)，其中，第三支撑板(54)粘接在平面部(4)上，振动隔膜和压电振子依次粘接在第三支撑板(54)上，三者对中放置，所述第二支撑板(53)粘接在振动基板(2)的四周支撑部分，所述第二支撑板(53)为绝缘材料，参与构建出空腔(51)，同时将电极片(52)与振动基板(2)绝缘隔开，所述上盖板(6)、第一支撑板(50)和电极片(52)依次叠放粘接在振动基板(2)的四周支撑部分，从而完成空腔(51)的构建。

8.根据权利要求6或7所述的一种流体泵，其特征在于：所述平面部(4)的下部设有底板衬板(7)，所述平面部(4)为弹性的柔性结构，其中，底板衬板(7)的中心设有圆形开孔(71)，使平面部(4)的中心部分能在圆形开孔(71)中露出。

9.根据权利要求8所述的一种流体泵，其特征在于：在底板衬板(7)的下部设有第二底板衬板(8)，其中，第二底板衬板(8)的上表面刻有至少一个通气槽(81)，使流体先通过通气槽(81)再经由通气孔(41)吸入到空腔(51)内。

10.一种激振元件，其特征在于：包括压电振子(10)和振动隔膜(3)，所述压电振子(10)包括振动基板(2)和设于所述振动基板(2)一侧的压电元件(1)，所述振动隔膜(3)配置于所述振动基板(2)的另一侧，所述振动基板(2)靠近所述振动隔膜(3)的一侧设有沉腔(21)，通过对所述压电元件(1)施加一定频率的交变电压，使振动基板(2)弯曲变形，振动隔膜(3)随着振动基板(2)朝着相同的方向弯曲。