[实用新型]一种多晶硅片去油墨用夹具

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅片去油墨用夹具，包括第一固定板、第二固定板和活动板，所述第一固定板与第二固定板之间通过两根导轨固定连接，所述第一固定板与第二固定板相对设置且相互平行，两根所述导轨垂直于第一固定板和第二固定板，且两根导轨相互平行，所述导轨上插设有活动板和若干个金属波纹网。本实用新型将硅片码放于两根导轨之间时，导轨能够托起硅片，操作简单快捷；相邻硅片之间通过波浪形的金属波纹网分隔，既使得夹具上能够一次性固定多片多晶硅片，又保证每片硅片两面均能够与氢氧化钠充分接触，提高去油墨的效率和质量，活动板在气缸的作用下可以在导轨上滑动，可固定任意数量的硅片，灵活性强。

技术领域

本实用新型涉及半导体硅片蚀刻设备技术领域，具体为一种多晶硅片去油墨用夹具。

背景技术

半导体硅包括多晶硅、单晶硅、硅晶片、外延片、非晶硅薄膜、微晶硅薄膜等。

晶体硅太阳能电池片工艺程序通常包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等步骤，刻蚀后必须去除丝印油墨。一般的耐酸油墨易溶于碱中。需要将刻蚀硅片浸入40-60g/L的氢氧化钠溶液中，温度为50-80度，浸渍数分钟即可褪去油墨。

目前在对硅片去油墨处理时，缺乏能够一次性分开夹持多块多晶硅片的夹具，一次只能处理一片多晶硅片，耗费时间长，处理效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅片去油墨用夹具，解决了目前缺乏能够一次性分开夹持多块多晶硅片的夹具，一次只能处理一片多晶硅片，耗费时间长，处理效率低下的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种多晶硅片去油墨用夹具，包括第一固定板、第二固定板和活动板，所述第一固定板与第二固定板之间通过两根导轨固定连接，所述第一固定板与第二固定板相对设置且相互平行，两根所述导轨均垂直于第一固定板和第二固定板，且两根导轨相互平行，所述导轨上插设有活动板和若干个金属波纹网，所述第一固定板面向活动板的一面固定安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸上设有气缸杆，所述气缸杆的尾端通过安装板固定在活动板的表面，所述金属波纹网设置在活动板与第二固定板之间，相邻所述金属波纹网之间放置有多晶硅片。

优选的，所述导轨的两端设有圆型的安装片，所述导轨通过将螺栓插入安装片固定在第一固定板与第二固定板上。

优选的，所述第一固定板和第二固定板的顶部均安装有牵引环，所述牵引环安装在第一固定板和第二固定板顶面的中间位置。

优选的，所述第一固定板和第二固定板上分别设有两个通孔，所述通孔沿第一固定板和第二固定板的长度方向上下贯通。

优选的，所述金属波纹网的两侧中间位置设有锁片，所述锁片上设有穿孔，所述穿孔的直径大于等于导轨的直径。

优选的，所述金属波纹网呈波纹型弯折，且金属波纹网为网格状编织结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)由于硅片为矩形结构，将硅片码放于两根导轨之间时，硅片的底部两边与导轨接触，导轨能够托起硅片，操作简单快捷。

(2)相邻硅片之间通过波浪形的金属波纹网分隔，既使得夹具上能够一次性固定多片多晶硅片，又保证每片硅片两面均能够与氢氧化钠充分接触，提高去油墨的效率和质量。

(3)活动板在气缸的作用下可以在导轨上滑动，可固定任意数量的硅片，灵活性强。

附图说明

图1为本实用新型整体的俯视图；

图2为本实用新型金属波纹网的主视图；

图3为本实用新型第二固定板与导轨的侧视图。