[实用新型]一种电容位移传感器

权利要求书

1.一种电容位移传感器，包括固定架(4)、设置在所述固定架(4)上方且用于与待测零部件连接的下极板(2)、与所述下极板(2)平行布置的上极板(1)和位于所述上极板(1)与所述下极板(2)之间的中间极板(3)，其特征在于，所述上极板(1)与所述下极板(2)之间通过周向布置的限位柱(5)固定连接形成一体式结构，所述中间极板(3)直接固定在所述固定架(4)，所述下极板(2)的一端通过弹性元件(6)与所述固定架(4)连接，且所述弹性元件(6)与所述固定架(4)之间还设置有调平机构，所述调平机构用于调整所述下极板(2)与所述中间极板(3)的间距。

2.如权利要求1所述的电容位移传感器，其特征在于，所述调平机构包括调节支架(7)，所述调节支架(7)包括固定端(8)和调节端(9)，所述固定端(8)固定在所述固定架(4)上，所述调节端(9)与所述弹性元件(6)连接，且所述调节端(9)上设置有顶丝(10)，所述顶丝(10)与所述固定架(4)的顶面相抵，当调节所述顶丝(10)时，所述调节端(9)能够相对所述固定架(4)的顶面发生靠近和远离的形变。

3.如权利要求2所述的电容位移传感器，其特征在于，所述顶丝(10)的数量为对称布置的两个，且分别位于所述调节端(9)上与所述弹性元件(6)连接的对应端的两侧。

4.如权利要求2所述的电容位移传感器，其特征在于，所述调节支架(7)为倒置的L形支架。

5.如权利要求4所述的电容位移传感器，其特征在于，所述L形支架的内拐角处去除材料以形成弹性薄壁(11)。

6.如权利要求2所述的电容位移传感器，其特征在于，所述固定端(8)与所述固定架(4)之间通过螺栓固定连接。

7.如权利要求6所述的电容位移传感器，其特征在于，所述固定端(8)对应的螺栓连接孔为横向布置的腰型孔，所述固定架(4)对应的螺栓连接孔为纵向布置的腰型孔。

8.如权利要求6所述的电容位移传感器，其特征在于，所述固定端(8)对应的螺栓连接孔为纵向布置的腰型孔，所述固定架(4)对应的螺栓连接孔为横向布置的腰型孔。

9.如权利要求1-8中任一项所述的电容位移传感器，其特征在于，所述限位柱(5)为周向布置的4个。

10.如权利要求2-8中任一项所述的电容位移传感器，其特征在于，所述弹性元件(6)与所述调节端(9)之间和所述弹性元件(6)与所述下极板(2)之间均为螺栓连接。