[实用新型]微机械加速度计控制装置

权利要求书

1.一种微机械加速度计控制装置，其特征在于包括微机械加速度计、非线性调谐电压产生电路、线性调谐电压产生电路、驱动电极反馈电压产生电路、模数转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第三数模转换器、第四数模转换器、第五数模转换器和可编程逻辑器件芯片，

微机械加速度计的信号输出端与模数转换器的输入端相连，模数转换器的输出端与可编程逻辑器件芯片的输入端相连，可编程逻辑器件芯片的第一输出端与第一数模转换器的输入端相连，第一数模转换器的输出端与非线性调谐电压产生电路的输入端相连，非线性调谐电压产生电路的输出端与微机械加速度计的非线性调谐结构相连，可编程逻辑器件芯片的第二输出端与第二数模转换器的输入端相连，第二数模转换器的输出端与线性调谐电压产生电路的第一输入端相连，可编程逻辑器件芯片的第三输出端与第三数模转换器的输入端相连，第三数模转换器的输出端与线性调谐电压产生电路的第二输入端相连，线性调谐电压产生电路的输出端与微机械加速度计的线性调谐结构相连，可编程逻辑器件芯片的第四输出端与第四数模转换器的输入端相连，第四数模转换器的输出端与驱动电极反馈电压产生电路的第一输入端相连，可编程逻辑器件芯片的第五输出端与第五数模转换器的输入端相连，第五数模转换器的输出端与驱动电极反馈电压产生电路的第二输入端相连，驱动电极反馈电压产生电路的输出端与微机械加速度计的驱动电极相连。

2.根据权利要求1所述的微机械加速度计控制装置，其特征在于所述的可编程逻辑芯片将输入端信号进行高频载波调制解调，可编程逻辑芯片内部产生固定调谐电压、频率自调节模块的调谐电压、余弦注入调制信号以及加速度闭环测量模块的闭环反馈控制信号，固定调谐电压经可编程逻辑器件芯片的第一输出端输出，频率自调节模块产生的调谐电压经可编程逻辑器件芯片的第二输出端和第三输出端输出，余弦注入调制信号经可编程逻辑器件芯片的第四输出端输出，加速度闭环测量模块的闭环反馈控制信号经可编程逻辑器件芯片的第五输出端输出。

3.根据权利要求1所述的微机械加速度计控制装置，其特征在于所述的非线性调谐电压产生电路为：非线性调谐电压产生电路的输入信号与第一电阻R1的一端连接，第一电阻R1的另一端与第一运算放大器的负输入端连接，第一运算放大器的正输入端与第三电阻R3连接，第三电阻R3的另一端接地，第一运算放大器的负输入端与第二电阻R2的一端连接，第二电阻R2的另一端与第一运算放大器的输出端连接，第一运算放大器的输出端为非线性调谐电压产生电路的输出信号。

4.根据权利要求1所述的微机械加速度计控制装置，其特征在于所述的线性调谐电压产生电路为：线性调谐电压产生电路的第一输入端与第六电阻R6的一端连接，第六电阻R6的另一端与第二运算放大器的负输入端连接，线性调谐电压产生电路的第二输入端与第七电阻R7的一端连接，第七电阻R7的另一端与第二运算放大器的负输入端连接，第一电容C1的一端和第二电容C2的一端连接并接地，第一电容C1的另一端和第二电容C2的另一端都与电源和第四电阻R4的一端连接，第四电阻R4的另一端分别接第一基准电压源的一端和第五电阻R5的一端，第一基准电压源的另一端接地，第五电阻R5的另一端分别接第二运算放大器的负输入端和第八电阻R8的一端，第八电阻R8的另一端与第二运算放大器的输出端连接，第二运算放大器的正输入端与第九电阻R9的一端连接，第九电阻R9的另一端接地，第二运算放大器的输出端为线性调谐电压产生电路的输出端。

5.根据权利要求1所述的微机械加速度计控制装置，其特征在于所述的驱动电极反馈电压产生电路为：驱动电极反馈电压产生电路的第一输入端与第十电阻R10的一端连接，第十电阻R10的另一端与第三运算放大器的负输入端连接，驱动电极反馈电压产生电路的第二输入端与第十一电阻R11的一端连接，第十一电阻R11的另一端与第三运算放大器的负输入端连接，第三运算放大器的正输入端与第十二电阻R12的一端连接，第十二电阻R12的另一端接地，第三运算放大器的负输入端与第十三电阻R13的一端连接，第十三电阻R13的另一端与第三运算放大器的输出端连接，第三运算放大器的输出端分别与第十五电阻R15的一端和第十七电阻R17的一端连接，第十五电阻R15的另一端接第四运算放大器的负输入端，第十七电阻R17的另一端分别接第五运算放大器的负输入端和第二十一电阻R21的一端，第二十一电阻R21的另一端接第五运算放大器的输出端，第三电容C3的一端和第四电容C4的一端连接并接地，第三电容C3的另一端和第四电容C4的另一端都与电源和第十四电阻R14的一端连接，第十四电阻R14的另一端分别接第二基准电压源的一端、第十六电阻R16的一端和第十八电阻R18的一端，第二基准电压源的另一端接地，第十六电阻R16的另一端分别接第四运算放大器的负输入端和第十九电阻R19的一端，第十九电阻R19的另一端接第四运算放大器的输出端，第四运算放大器的正输入端接第二十电阻R20的一端，第二十电阻R20的另一端接地，第十八电阻R18的另一端分别接第五运算放大器的正输入端和第二十二电阻R22的一端，第二十二电阻R22的另一端接地，第四运算放大器的输出端和第五运算放大器的输出端为驱动电极反馈电压产生电路的输出端。