[实用新型]一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器有效
| 申请号： | 201820773544.5 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN208218963U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陆勇;彭平;夏中高;陈伟兵;李旭杰;李鹏云;陈庆发;梁红菲 | 申请（专利权）人： | 平煤隆基新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;C23C16/42 |
| 代理公司： | 许昌豫创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41140 | 代理人： | 韩晓静 |
| 地址： | 461700 河南省许*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适配器 石英管 卡扣 本实用新型 平板式 专用卡 扣盖 前部 外部 产品合格率 微波发生器 连接设置 可固定 发红 返工 挡住 | ||
【权利要求书】：
1.一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，其特征在于：所述卡扣盖适配器（1）的左侧连接设置有石英管，所述卡扣盖适配器（1）上设置有微波发生器，所述卡扣盖适配器（1）为管状，所述卡扣盖适配器（1）包括前部（11）、中部（12）和后部（13）三部分，所述前部（11）的外部直径为36mm，其长度为9.5mm，所述中部（12）的外部直径为40mm，其长度为9.5mm，所述后部（13）的外部直径为36mm，其长度为2.5mm。
2.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，其特征在于：所述卡扣盖适配器（1）的材料为金属铝。
3.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，其特征在于：所述卡扣盖适配器（1）的内部直径为30mm。
4.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，其特征在于：所述卡扣盖适配器（1）上设置有R0.2的倒圆角。
5.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，其特征在于：所述卡扣盖适配器（1）的内部直径与石英管的外部直径相等。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
