[实用新型]一种晶片吹砂机摆动装置

说明书

一种晶片吹砂机摆动装置，包括驱动装置，连接销，齿条，导轨，定位挡块，伞形齿轮，连接轴，摆动杆，喷嘴，轴承座，所述伞形齿轮与齿条啮合；所述伞形齿轮与连接轴配合连接；所述摆动杆与连接轴配合连接；所述喷嘴固定于摆动杆下端。通过齿条与伞形齿轮之间的相对运动，将直线运动转变为往复摆动，从而实现连续不间断的往复摆动吹砂动作；本装置结构简单，加工和安装快捷，省时省力，摆幅控制容易，并降低了成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片加工技术领域，具体地说是一种晶片吹砂机摆动装置。

背景技术

半导体晶片的生产工艺中，前期工序有一步需要将晶片减薄到需要的厚度，目前大多数生产厂家是采用吹砂机对晶片表面高速喷射细小颗粒的金刚砂来进行减薄，由于晶片具有一定的宽度，同时喷射嘴只有一排的情况下对晶片进行喷射就需要喷嘴在喷射金刚砂时在一定幅度内进行摆动喷射。专利号CN203536395U介绍了一种晶片吹砂传送装置，这种装置的摆动机构是利用偏心轮和连杆机构进行摆幅的控制和动作，这种设计很好地完成对金刚砂喷射时要求的在一定幅度内的摆动喷射，但是这种结构复杂，加工和安装比较困难，再加上动力控制系统等，成本较高，而且由于是连杆机构，喷砂摆幅计算麻烦。

实用新型内容

针对以上结构，本实用新型提供一种晶片吹砂机摆动装置，结构简单，加工和安装快捷，摆幅控制容易，降低了成本，很好地实现了对晶片的摆动喷砂。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种晶片吹砂机摆动装置，其特征在于：包括驱动装置，连接销，齿条，导轨，定位挡块，伞形齿轮，连接轴，摆动杆，喷嘴，轴承座，所述的驱动装置与齿条通过连接销连接；所述齿条安装于导轨中，可在导轨内滑动；所述定位挡块固定于导轨两端；所述伞形齿轮与齿条啮合；所述伞形齿轮与连接轴配合连接；所述摆动杆与连接轴配合连接；所述连接轴两端固定于轴承座中；所述喷嘴固定于摆动杆下端。

作为优化，所述的导轨为燕尾槽结构。

作为优化，所述的齿条根部为T形结构，与导轨的燕尾槽互相配合。

作为优化，所述的伞形齿轮与连接轴之间通过键传动连接。

作为优化，所述的摆动杆与连接轴之间通过键传动连接。

本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，本实用新型的一种晶片吹砂机摆动装置，通过齿条与伞形齿轮之间的相对运动，将直线运动转变为往复摆动，从而实现连续不间断的往复摆动吹砂动作；本装置结构简单，加工和安装快捷，省时省力，摆幅控制容易，并降低了成本。

附图说明

图1为本实用新型主视图；

图2位本实用新型右视图；

其中，1驱动装置，2连接销，3齿条，4导轨，5伞形齿轮，6连接轴，7摆动杆，8喷嘴，9轴承座，10定位挡块。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的。技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。