[实用新型]微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备

说明书

本实用新型是关于一种微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备，涉及微通道板镀膜设备领域。主要采用的技术方案为：微通道板镀膜辅助支撑套，其包括：支撑部，所述支撑部为盘状且中部设置有通孔，所述支撑部的边沿下表面用于可拆卸的连接在镀膜设备的工件架上；安装部，所述安装部包括设置在所述通孔内壁上的凸沿，用于安装待镀膜的微通道板；其中，所述支撑部的边沿下表面与所述凸沿的安装面相距预定距离。本实用新型实施例提供的微通道板镀膜辅助支撑套不仅具有结构简单，操作方便的特点，还能够适用于对不同外形、不同镀膜深度的微通道板镀膜，提高了不同型号大小微通道板的生产灵活性，使一台镀膜设备具有对应处理多种型号微通道板的功能。

技术领域

本实用新型涉及微通道板镀膜设备领域，特别是涉及一种微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备。

背景技术

微通道板(Microchannel Plate，MCP)是一种以玻璃薄片为基片，在基片上以数微米到十几微米的空间周期，以六角形周期排布孔径比空间周期略小的微孔，微通道板能够用于高性能夜视像增强器，以及用于增强电子图像功能的电子倍增器中。

其中，为了使微通道板具有倍增的技术效果，微通道板上的通道进出口处均需设置电极，该电极通过镀膜的方式进行设置。现有技术中镀制电极膜层时是将微通道板放置在工件架上，并通过工件架将微通道板设置成与电极膜料蒸发源预定的角度，之后进行镀膜的工作。

但是，由于不同型号的微通道板其镀制的电极膜层相对于通道口的深度有不同的要求，需要调整微通道板相对电极膜料蒸发源之间的角度来达到镀制不同深度电极膜层的目的，而现有的工件架在调整微通道板的设置角度时需要调整工件架，但其要求精度高、操作复杂、非常麻烦，或者不能够调整设置角度，进而导致一台镀膜设备仅能够对应的进行一种型号的微通道板镀膜工作，给微通道板生产造成了极大不便，也严重地浪费了镀膜设备资源，需要进一步的研发解决这一技术问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，提供一种新型结构的微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备，使其能够方便的调整微通道板在镀膜设备上的设置角度，使一台镀膜设备能够进行多种型号微通道板的镀膜工作。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种微通道板镀膜辅助支撑套，其包括：

支撑部，所述支撑部为盘状且中部设置有通孔，所述支撑部的边沿下表面用于可拆卸的连接在镀膜设备的工件架上；

安装部，所述安装部包括设置在所述通孔内壁上的凸沿，用于安装待镀膜的微通道板；

其中，所述支撑部的边沿下表面与所述凸沿的安装面相距预定距离。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述凸沿的安装面与所述支撑部的边沿下表面位于同一平面。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述安装部还包括安装筒，所述安装筒的第一端与所述通孔连通，为所述通孔的延长段，所述凸沿设置在所述安装筒的第二端。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述安装筒的筒壁垂直于所述支撑部的边沿，所述安装筒与所述通孔的内径相同。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中从所述安装筒的第一端到第二端其内径逐渐缩小，其中所述安装筒的第一端的内径等于所述通孔的内径。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述凸沿设置在所述安装筒的第二端的内壁；

或所述凸沿设置在所述安装筒的第二端的端部。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中支撑部为圆形盘状，或所述支撑部为长轴与短轴尺寸相近的椭圆形盘状。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述通孔为圆形，或所述通孔为多边形。