[实用新型]一种真空镀膜机使用的试样旋转装置有效

专利信息
申请号: 201820761856.4 申请日: 2018-05-21
公开(公告)号: CN208218951U 公开(公告)日: 2018-12-11
发明(设计)人: 韩柏;吕雪松;王健宇;高鑫;孙志 申请(专利权)人: 哈尔滨理工大学
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 代理人: 曹徐婷
地址: 150080 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 集电环 镀膜系统 法兰 试样旋转装置 本实用新型 真空镀膜机 驱动转轮 真空腔体 磁流体 接线柱 真空腔 电介质 从上到下 法兰连接 片状试样 实验效率 真空镀膜 电连接 镀膜机 体内部 上端 流体 下端 组磁 体内 穿过
【说明书】:

实用新型涉及工程电介质技术领域,具体为一种真空镀膜机使用的试样旋转装置,包括真空腔体和镀膜系统;所述真空腔体上设置有法兰接线柱,所述法兰接线柱通过导线与设置在真空腔体内部的集电环电连接,所述集电环上端与一组法兰连接,所述集电环下端与设置在所述真空腔体内的镀膜系统连接,所述法兰上方还设置有一组磁流体,所述磁流体上方设置有一组驱动转轮,所述驱动转轮从上到下依次穿过所述磁流体、所述法兰和所述集电环并与所述镀膜系统连接;本实用新型对传统镀膜机所做的改动旨在缩短其对片状试样两面进行真空镀膜的时间、提高实验效率。

技术领域

本实用新型涉及工程电介质技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机使用的试样旋转装置。

背景技术

在工程电介质领域,测量材料电性能时经常需要将材料制成薄片,并在其两端喷镀金属电极。本实用新型主要应用于电介质领域对材料介电性能研究实验的前期准备工作过程中,设计了一种真空镀膜机使用的试样旋转装置用以提高镀膜工作的工作效率。在对片状试样进行真空镀膜时,实验者完成一面镀膜后需要对真空腔体进行去真空,再由人工将试样翻面进而完成另一面的镀膜工作,如此耗时长且操作繁琐,不利于提高实验效率。

实用新型内容

本实用新型克服了上述现有技术的不足,提供了一种真空镀膜机使用的试样旋转装置。本实用新型对传统镀膜机所做的改动旨在缩短其对片状试样两面进行真空镀膜的时间、提高实验效率。

本实用新型的技术方案:

一种真空镀膜机使用的试样旋转装置,包括真空腔体和镀膜系统;所述真空腔体上设置有法兰接线柱,所述法兰接线柱通过导线与设置在真空腔体内部的集电环电连接,所述集电环上端与一组法兰连接,所述集电环下端与设置在所述真空腔体内的镀膜系统连接,所述法兰上方还设置有一组磁流体,所述磁流体上方设置有一组驱动转轮,所述驱动转轮从上到下依次穿过所述磁流体、所述法兰和所述集电环并与所述镀膜系统连接。

进一步的,所述镀膜系统包括悬空臂,所述悬空臂上端与所述驱动转轮连接,所述悬空臂上分别设置有两组安装臂,两组安装臂下端分别设置有上固定夹和下固定夹,所述上固定夹和所述下固定夹之间设置有镀膜板,所述上固定夹和下固定夹还与一组转轴连接,所述转轴设置在所述左安装臂下端的轴承内,所述转轴外端设置有驱动扭簧,所述驱动扭簧一端与所述转轴固定连接,另一端与所述安装臂固定连接,所述转轴端部加工有两组对称设置的卡槽,位于上方的卡槽上方设置有一组阻挡臂,所述阻挡臂上设置有与所述卡槽配合的卡紧块,所述阻挡臂一端与安装臂活动连接,所述阻挡臂还与一组磁性驱动装置连接;所述转轴端部还设置有一组限臂,所述限臂贯穿所述转轴端部,所述转轴旁侧还设置有一组档位柱。

进一步的,所述磁性驱动装置包括一组推拉式电磁铁,所述推拉式电磁铁通过导线与集电环电连接,所述悬空臂上加工有容纳导线的线孔,所述推拉电磁铁的活动端与所述阻挡臂连接。

本实用新型相对于现有技术具有以下有益效果:

本实用新型本实用新型提供一种真空镀膜机使用的试样旋转装置,通过将镀膜板在真空腔内旋转,实现了一次抽真空,两面镀膜;各种器件均为现有技术中常见器件,改造成本不高,改良后可以有效的节约时间,提高效率;

本实用新型工作于真空腔内部,可以实现真空腔真空状态下试样的翻面,避免了去真空、二次抽真空等过程,能有效地节省实验时间并简化实验步骤,具有较高的使用价值。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是本实用新型的镀膜系统的结构示意图;

图3是本实用新型的转轮与镀膜系统连接示意图;

图4是本实用新型的转轴部分放大图;

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