[实用新型]迷你型高精度激光清洗镜头及激光清洗器

权利要求书

1.迷你型高精度激光清洗镜头，其特征在于：至少包括直径小于45mm的镜筒（1）以及通过压圈固设在所述镜筒（1）内的三片光学透镜（2），该镜头以所述镜筒（1）为基础，镜筒（1）从物方到像方依次为由融石英制成的第一透镜（21）、由重火石玻璃制成的第二透镜（22）以及第三透镜（23），所述第一透镜（21）、第二透镜（22）以及第三透镜（23）的物侧面均为凹面，像侧面均为凸面，所述第一透镜（21）、第二透镜（22）和第三透镜（23）的焦距分别为负、正、正。

2.根据权利要求1所述的迷你型高精度激光清洗镜头，其特征在于：所述第一透镜（21）的中间厚度为1.8~2.5mm，其物侧面的直径为25~27mm，曲率为-23~-22mm，像侧面的直径为27~29mm，曲率为-60~-55mm。

3.根据权利要求1所述的迷你型高精度激光清洗镜头，其特征在于：所述第一透镜（21）与所述第二透镜（22）之间距离为0.8~0.9mm。

4.根据权利要求1所述的迷你型高精度激光清洗镜头，其特征在于：所述第二透镜（22）的中间厚度为4.3~4.7mm，其物侧面的直径为27~29mm，曲率为-50~-45mm，像侧面的直径为29~30mm，曲率为-30~-28mm，所述第二透镜（22）的折射率为N=1.7~2.0。

5.根据权利要求1所述的迷你型高精度激光清洗镜头，其特征在于：所述第二透镜（22）与所述第三透镜（23）之间的距离为0.6~0.7mm。

6.根据权利要求1所述的迷你型高精度激光清洗镜头，其特征在于：所述第三透镜（23）的直径为30~33mm，中间厚度为3.3~3.7mm，其物侧面的曲率为-227~-225mm，像侧面的曲率为-93~-90mm，第三透镜（23）的折射率为N=1.7~2.0。

7.根据权利要求1至6任一所述的迷你型高精度激光清洗镜头，其特征在于：所述镜筒（1）内还设有保护片（24），所述保护片（24）位于所述第三透镜（23）的外侧，且与所述第三透镜（23）之间的距离为2~4mm。

8.根据权利要求7所述的迷你型高精度激光清洗镜头，其特征在于：所述保护片（24）的直径为33~35mm，其物侧面和像侧面均为平面，所述保护片（24）由冕玻璃制成。

9.激光清洗器，其特征在于：包括如权利要求1至8任一所述的迷你型高精度激光清洗镜头，以及激光器、取直镜、振镜，在所述激光器和被清洗面之间依次设有取直镜、振镜、镜头，由所述激光器产生的光束，通过所述取直镜后行成平行的光束，继而通过所述振镜后将光束振动成预设形状的光束，将所述预设形状的光束穿过所述迷你型高精度激光清洗镜头后照射到被清洗面上。

10.根据权利要求9所述的激光清洗器，其特征在于：所述激光器产生的光束波长是1064nm。