[实用新型]一种电子数密度测量探针排架装置

权利要求书

1.一种电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，包括：

多个探针支架，其内设置有用于放置多个探针的多个安装孔洞；

用于安装多个探针支架的探针套筒，其设置在所述多个探针支架的底部；所述探针套筒的内部具有容纳多个探针的测试线缆的空腔；所述探针套筒的两端分别连接堵帽和堵块；

用于连接扫掠装置的转接头，其设置在所述探针套筒的底部；

用于调节探针排架位置的调节帽，其与所述转接头的底部可拆卸连接。

2.如权利要求1所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述多个探针通过螺纹连接固定在所述多个探针支架内；所述多个探针支架通过焊接固定在所述探针套筒上并成为一体。

3.如权利要求1所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述多个探针支架至少为两个。

4.如权利要求3所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述多个探针支架为七个且等间距排列。

5.如权利要求1所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述堵帽通过螺纹连接在所述探针套筒的一端，所述堵块密封卡合在所述探针套筒的另一端。

6.如权利要求5所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述堵帽的内侧可拆卸连接第一隔热绝缘块；所述堵帽与第一隔热绝缘块的可拆卸连接是通过堵帽上设置的螺孔，而第一隔热绝缘块与堵帽相匹配处设有相对应的螺杆，所述螺孔与螺杆进行连接。

7.如权利要求5或6所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述堵块的内侧通过焊接固定第二隔热绝缘块。

8.如权利要求1所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述测试线缆的一端焊接固定在多个探针的尾部，测试线缆的另一端穿过所述转接头连接于电子数密度采集分析系统。

9.如权利要求1所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述转接头与调节帽具有测试线缆纵向贯穿的内腔；所述转接头与调节帽的可拆卸连接是通过螺纹连接。

10.如权利要求1所述电子数密度测量探针排架装置，其特征在于，所述转接头通过螺纹连接水冷装置，所述水冷装置设置在水冷支架的入口端且通过螺杆固定在运动机构上，所述水冷装置具有纵向贯穿测试线缆的中空结构。