[实用新型]辅助增压型压电粘滑直线电机

说明书

本实用新型涉及一种辅助增压型压电粘滑直线电机，属于精密工程技术领域。包括固定底座、移动平台、定子组件以及动子组件；固定底座与定子组件通过螺钉进行连接；固定底座与动子组件通过螺钉进行连接；移动平台与动子组件通过螺钉进行连接；定子组件与动子组件接触配合。可增大辅助增压式定子与移动导轨间的摩擦驱动力，并降低辅助增压式定子与移动导轨间的摩擦阻力，实现对压电粘滑直线电机整个工作过程中摩擦力的调控，可显著的提高压电粘滑直线电机的输出特性，降低其位移回退率。具有结构简单、精度高以及响应速度快等诸多技术优势。在精密工程技术等领域有广泛的应用前景。

技术领域

本实用新型涉及精密工程技术领域，特别涉及一种辅助增压型压电粘滑直线电机。

背景技术

压电粘滑直线电机是一种基于压电元件的逆压电效应，在非对称电信号激励下激发定子（或称振子）产生微幅高频振动，利用定子与动子间的摩擦耦合实现机械能输出的微纳精密压电粘滑直线电机。按照驱动原理的不同，压电粘滑直线电机主要分为共振型压电电机（也称超声波电机）与非共振型压电电机（也称压电粘滑电机）两大类。与共振型压电电机相比，压电粘滑直线电机具有结构简单紧凑、控制方便、定位精度高及行程大等优点，被广泛应用于半导体加工、精密光学仪器等微纳精密驱动与定位技术领域。

压电粘滑驱动主要是将锯齿激励电信号施加于压电元件，激发定子产生快慢交替的运动变形，控制定子与动子在“粘”和“滑”两种运动状态之间相互转换，利用摩擦力驱动动子实现机械运动输出。然而，由于压电粘滑驱动缓慢与快速变形驱动阶段，定子与动子间摩擦力发挥的不同作用，具体为缓慢变形驱动阶段时表现为摩擦驱动力，而快速变形驱动阶段时表现为摩擦阻力。尤其是在定子的快速变形驱动阶段，由于动子所受摩擦力与其运动方向相反，当动子惯性力不足以克服该摩擦阻力时，将会导致动子产生回退运动，表现为类锯齿状的不平稳运动输出，劣化输出性能，限制了压电粘滑直线电机的应用与发展。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种辅助增压型压电粘滑直线电机，解决了现有技术存在的位移回退严重以及运动输出不平稳等技术问题。

本实用新型的上述目的通过以下技术方案实现：

辅助增压型压电粘滑直线电机，包括固定底座1、移动平台2、定子组件3以及动子组件4；所述固定底座1与定子组件3通过定子紧固螺钉3-5进行连接；所述固定底座1与动子组件4通过导轨固定钉4-3进行连接；所述移动平台2与动子组件4通过平台紧固螺钉2-3进行连接；所述定子组件3与动子组件4通过驱动足3-1-2-2接触配合。

所述的固定底座1是：固定底座1的上表面一侧设置有动子组件支撑面1-1，所述动子组件支撑面1-1上均匀布置有导轨固定内螺纹孔1-1-1，定子组件支撑面1-2上表面设置有定子固定内螺纹孔1-2-1。

所述的移动平台2是：移动平台2上表面一侧均匀设置有沉头通孔2-1；所述移动平台2设置有导轨容纳孔2-2与固定导轨4-1相配合，防止在移动平台2运动的过程中与固定导轨4-1发生干涉。