[实用新型]一种适用于化学气相淀积过程中的基座

权利要求书

1.一种适用于化学气相淀积过程中的基座，包括基板（1），其特征在于：所述基板（1）的下表面开设有第二凹槽（6），所述第二凹槽（6）为不规则形状，所述第二凹槽（6）内部铺设有导热线（4），所述基板（1）下端面匹配设有基板覆盖层（2），所述基板覆盖层（2）中部贯穿固接有轴杆（3）；所述基板（1）的上端面通过滚压装置开设有若干第一凹槽（5），所述滚压装置包括压辊（7），所述压辊（7）内部中空，所述压辊（7）侧壁上开设有若干通孔（8），所述压辊（7）一端固定连接有底板（9），所述底板（9）内壁开设有环形滑道（10），所述环形滑道（10）内滑动连接有两个滑条（11），两个所述滑条（11）远离底板（9）一端面固定连接有同一个弹性气囊（12）的一端，所述弹性气囊（12）内部滑动有活塞（13），所述活塞（13）一端面固定连接有连接杆（14），所述连接杆（14）的另一端依次贯穿弹性气囊（12）的顶壁、压辊（7）的顶壁到达外部并固定连接有推板（15），所述弹性气囊（12）的侧壁贯通固接有输气管道（18）的一端，所述输气管道（18）的另一端贯穿通孔（8）到达压辊（7）外部并固定连接有弹性密封头（19）。

2.根据权利要求1所述的一种适用于化学气相淀积过程中的基座，其特征在于：所述轴杆（3）外部包裹有轴杆覆盖层（17），所述轴杆覆盖层（17）与基板覆盖层（2）厚度相同、材料相同。

3.根据权利要求1所述的一种适用于化学气相淀积过程中的基座，其特征在于：所述弹性密封头（19）的形状为矩形、球形、锥形中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的一种适用于化学气相淀积过程中的基座，其特征在于：两个所述滑条（11）的两端分别通过连接弹簧（16）相连接。

5.根据权利要求1所述的一种适用于化学气相淀积过程中的基座，其特征在于：所述轴杆（3）为中空结构。