[实用新型]一种干刻下部电极固定装置

权利要求书

1.一种干刻下部电极固定装置，其特征在于：包括用于支撑干刻下部电极的第一垫块、第二垫块和第三垫块，以及连接并将垫块固定在加工工作台上的压块；

所述第一垫块为板状结构，所述第一垫块的侧面设有固定压块的插槽；

所述第二垫块为板状结构，所述第二垫块的侧面设有固定压块的插槽，所述第二垫块其中一侧边缘设有凸出用于支撑干刻下部电极侧边的侧板；

所述第三垫块为板状结构，所述第三垫块的侧面设有固定压块的插槽，所述第三垫块其中一侧边缘设有凸出用于支撑干刻下部电极侧边的侧板，所述第三垫块的侧板上设有紧固槽，所述紧固槽内通过螺钉固定有紧固块，所述紧固块的侧面接触干刻下部电极侧边的侧板；

所述固定装置由多个垫块构成支撑干刻下部电极的支撑结构，其中，位于中部的垫块为第一垫块，位于边缘的垫块为第二垫块或第三垫块，且第二垫块或第三垫块的侧板位于固定装置边缘，所述固定装置其中相邻两侧的侧板设有紧固槽，另外相邻两侧的侧板无紧固槽。

2.根据权利要求1所述的干刻下部电极固定装置，其特征在于：所述紧固块由公钳口和母钳口构成，所述公钳口和母钳口相向面为配合的斜面，所述母钳口外侧面接触干刻下部电极侧面，所述公钳口通过螺钉固定在紧固槽内。

3.根据权利要求2所述的干刻下部电极固定装置，其特征在于：所述公钳口和母钳口为钢材。

4.根据权利要求1、2或3所述的干刻下部电极固定装置，其特征在于：所述第一垫块、第二垫块和第三垫块的厚度相同，均为铝材。