[实用新型]键合线多线超声清洗退火一体机

说明书

本实用新型公开了键合线多线超声清洗退火一体机，包括支架，所述支架上依次设有放线装置、张力控制系统、超声清洗装置、退火装置和收线装置。本实用新型通过多组(四组)放线、清洗、退火和收线装置，可同时进行多根键合线的清洗、退火工序，有效提升了加工效率；通过张力控制系统可有效实现线径在0.03mm以下微细键合线不间断的连续、快速收放线；通过温度调节器可以精确控制退火温度，通过内外管设置可以实现在保护气体氛围下对微细键合丝线进行高温退火，从而解决金属线体在高温下易发生线体氧化的问题。

技术领域

本实用新型涉及键合线技术领域，具体涉及键合线多线超声清洗退火一体机。

背景技术

随着集成电路及半导体器件向封装多引线化、高集成度和小型化发展，要求线径更细、电学性能更好的键合丝进行窄间距、长距离的键合。此外，芯片密度的不断提高，对键合材料的导热性和可靠性提出了更高的要求。

键合线制备工艺主要包括拉丝与退火。由于软态键合线径仅为十几到几十微米，与宏观金属材料相比更易于在空气中被氧化，并且经过拉丝工序的软态键合线表面会存在拉丝油剂残留，因此有必要在退火工序前对软态键合线进行清洗，并且尽量减少清洗工序到退火工序之间的时间间隔。

因此，本领域的技术人员致力于开发一种键合线的清洗退火装置，实现对软态键合线清洗、退火的一体化操作。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种键合线多线超声清洗退火一体机，其实现了键合线超声清洗和退火工序的连续进行，保证了键合线的加工质量和生产效率。

本实用新型所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现：

键合线多线超声清洗退火一体机，包括支架，所述支架上依次设有放线装置、张力控制系统、超声清洗装置、退火装置和收线装置。

所述放线装置设有驱动器、若干放线杆、以及设在每个放线杆上的放线轴，所述驱动器的输出端与放线轴连接；

所述张力控制系统设有控制器以及与控制器连接的若干张力杆，且在每个张力杆上均设有张力导轮；

所述清洗装置设有槽体、缸体和超声发生装置；所述槽体由外槽和内槽组成，所述超声发生装置的超声振子设于内槽内，所述缸体设在槽体的下方，缸体内设有泵体，所述泵体通过管路与内槽连通；

所述退火装置包括两个对称放置的各自独立的炉体，以及设在炉体上的电源控制器和温度调节器；所述炉体包括600mm-2000mm长的外管，所述外管周围包裹着若干段100mm-300mm宽的加热片和保温外壳；所述外管内部水平且平行放置有两根用于过线的内管；所述电源控制器用于提供炉体的热源，所述温度调节器用于设定并调节炉体温度；

所述收线装置包括驱动器、若干收线杆以及设在每个收线杆上的收线轴，所述驱动器的输出端与收线轴连接。

进一步改进在于，所述超声振子的外围设有超声传导罩。

进一步改进在于，所述内管中间连接有微细支管，所述微细支管的一端连接有保护气源。

进一步改进在于，所述放线杆、放线轴、张力杆、张力导轮、过线导轮、收线杆、收线轴等与相应炉体的内管数量匹配，且均有四组。

进一步改进在于，所述外槽两端侧板上设有过线孔，所述内槽相应两端设有溢流口便于过线和流水。

进一步改进在于，所述收线杆与炉体之间设有过线导轮。