[实用新型]滤波盒组件及反应腔室有效
| 申请号： | 201820727949.5 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN208767254U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 栾大为 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 插座 转接口 壳体 线缆 开口 引入 转接件 本实用新型 反应腔室 滤波盒 滤波 壳体连接 滤波效果 直接插接 射频波 插接 适配 泄漏 | ||
1.一种滤波盒组件，包括壳体和引入插座，所述引入插座用于向所述壳体引入待滤波线缆，其特征在于，所述滤波盒组件还包括插座转接件，所述插座转接件固定在所述壳体上；
所述插座转接件上设置有第一转接口和第二转接口，所述壳体上设置有线缆开口，其中，所述第一转接口与所述引入插座插接，所述第二转接口与所述线缆开口相对应；
所述待滤波线缆依次通过所述第二转接口和所述线缆开口引入至所述壳体中；并且，所述线缆开口和/或所述第二转接口的尺寸与所述待滤波线缆的尺寸相适配。
2.根据权利要求1所述的滤波盒组件，其特征在于，所述插座转接件包括第一分体和第二分体，且对应地分别在所述第一分体和第二分体上设置有第一凹部和第二凹部，所述第一凹部与所述第二凹部对接能形成所述第二转接口。
3.根据权利要求2所述的滤波盒组件，其特征在于，所述第一分体与所述第二分体通过螺钉固定连接。
4.根据权利要求2所述的滤波盒组件，其特征在于，在所述第一分体上形成有凹槽，所述第二分体在与所述第一分体对接时位于所述凹槽中，且所述凹槽的槽底处设有所述第一凹部。
5.根据权利要求1-4任一所述的滤波盒组件，其特征在于，所述插座转接件包括相对设置的第一转接板和第二转接板，其中，
所述第一转接口为贯穿所述第一转接板厚度的第一通孔，所述第二转接口为贯穿所述第二转接板厚度的第二通孔。
6.根据权利要求5所述的滤波盒组件，其特征在于，所述插座转接件具有空腔，所述第一转接口经由所述空腔与所述第二转接口接通。
7.根据权利要求5所述的滤波盒组件，其特征在于，所述第二转接板上还设置有贯穿其厚度的固定孔，所述插座转接件通过螺钉与所述壳体固定连接。
8.根据权利要求1所述的滤波盒组件，其特征在于，所述线缆开口和/或所述第二转接口的尺寸小于等于4mm。
9.根据权利要求1所述的滤波盒组件，其特征在于，所述滤波盒组件还包括引出插座，所述引出插座用于将所述壳体中的滤波线缆引出，在所述壳体上还设置有引出插座开口，所述引出插座与所述引出插座开口插接。
10.一种反应腔室，包括滤波盒组件和设置在所述滤波盒组件中的滤波器，其特征在于，所述滤波盒组件为权利要求1-9中任一所述的滤波盒组件。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820727949.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种透射电子显微镜样品杆
- 下一篇：腔室冷却装置及半导体加工设备
