[实用新型]抓料机械手连接固定装置

说明书

本实用新型涉及一种抓料机械手连接固定装置，包括位于上部的驱动机构和位于下部的抓取机构，所述驱动机构与所述抓取机构上下分开设置，并通过转轴进行连接，驱动机构可绕转轴左右摆动，抓取机构可绕该转轴上下摆动；所述驱动机构包括两根竖直的驱动杆和一第一连接板，两驱动杆对称连接在第一连接板的两边，驱动杆连接外部的驱动装置；所述抓取机构包括一第二连接板和对称固定在第二连接板两端的两抓料机械手，在第二连接板上，还设置两弹簧座，两弹簧座上固定两弹簧。本实用新型可有效解决因料片变形无法正常抓取料片的问题，使抓料牢靠，运动过程不会松动。

【技术领域】

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种半导体自动切筋成型设备中使用的抓料机械手连接固定装置。

【背景技术】

半导体自动切筋成型设备在正常工作时，时常受到因为料片翘曲变形而无法正常抓取产品，或抓取掉料，造成料片在运动过程中刮到其他零部件导致料片和其他零部件损坏的问题。

具体可参阅1，为现有抓料机械手连接固定装置20的结构，包括两个对称设置的抓料机械手204，和固定两个机械手204的矩形固定板203。矩形固定板203与驱动机构的连接板202固定连接，驱动机构带动连接板202上下运动时，也会带动固定板203及连接其上的抓料机械手204上下运动，当抓料机械手204运动到需抓取的半导体料片后，驱动机构停止上下运动，两个抓料机械手204开始抓取半导体元件的两边。

当半导体料片处于正常状态的水平放置时，两个抓料机械手204可以按照设定的程序抓到半导体料片的两边将其顺利抓起。但是，由于薄片的半导体料片容易变形而呈弯曲状，此时抓料机械手204下降接触到半导体料片时，由于变形，只有一边抓料机械手204手与半导体料片其中一边接触，另一边的抓料机械手204无法接触到半导体料片另一边，这时只能抓到半导体料片的一边，而无法将半导体料片整体抓起，导致系统故障停机，严重影响产能。同时，还会由于无法整体抓起，在运动过程中出现松动，脱落致半导体料片损坏。所以，现有技术的抓料机械手连接固定装置20对半导体料片的平整度要求极高。

鉴于以上不足，为了可以正常、平稳抓起易变形的半导体料片，有必要提供一种全新的抓料机械手连接固定装置。

【实用新型内容】

为克服现有抓料机械手无法正常抓起半导体料片的诸多问题，本实用新型提供了一种新型抓料机械手连接固定装置。

本实用新型解决技术问题的方案是提供一种抓料机械手连接固定装置，包括位于上部的驱动机构和位于下部的抓取机构，所述驱动机构与所述抓取机构上下分开设置，并通过转轴进行连接，驱动机构可绕转轴左右摆动，抓取机构可绕该转轴上下摆动；所述驱动机构包括两根竖直的驱动杆和一第一连接板，两驱动杆对称连接在第一连接板的两边，驱动杆连接外部的驱动装置；所述抓取机构包括一第二连接板和对称固定在第二连接板两端的两抓料机械手，在第二连接板上，还设置两弹簧座，两弹簧座上固定两弹簧。

优选地，所述第一连接板为一条形板，在其中部向两边延伸出两梯形边，梯形边一体成型在第一连接板上。

优选地，两弹簧座竖直对应于第一连接板的两梯形边设置。

优选地，在所述第一连接板的底部中心位置设置一第一连接座，所述转轴穿过所述第一连接座。

优选地，在第二连接板的上部中心位置设置一第二连接座，所述转轴穿过所述第二连接座。

优选地，所述第二连接板为条形板，与第一连接板在平面上的投影互相垂直。