[实用新型]一种硅片整片机构

权利要求书

1.一种硅片整片机构，其特征在于，所述的整片机构包括用于从下侧将硅片托起的顶升机构、分别从两侧夹紧所述的硅片的第一夹紧组件和第二夹紧组件，所述的顶升机构包括一组有多个顶齿组成的顶齿组，相邻的两个顶齿之间形成开口向上的用于放置硅片的间隙，所述的第一夹紧组件包括由多个第一侧齿组成的第一侧齿组，相邻的两个第一侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙，所述的第二夹紧组件包括由多个第二侧齿组成的第二侧齿组，相邻的两个第二侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙。

2.如权利要求1所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的顶升机构包括顶升机架、设置在顶升机架上的能够沿所述的顶升机架上下移动的顶齿安装架、用于驱动所述的顶齿安装架上下移动的顶升驱动机构，所述的顶升驱动机构为丝杆螺母机构。

3.如权利要求1所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第一夹紧组件还包括用于安装所述的第一侧齿组的第一侧齿安装板、固定在所述的第一侧齿安装板下侧的第一侧齿安装架，所述的第一侧齿安装架可左右移动的设置在一第一移动架上，所述的第一移动架上安装有用于驱动所述的第一侧齿安装架左右移动的第一侧齿驱动汽缸。

4.如权利要求3所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第一夹紧组件还包括第一支架，所述的第一移动支架可左右移动的设置在所述的第一支架上，所述的第一支架上还安装有一用于驱动所述的第一移动支架左右移动的第一移动架驱动汽缸。

5.如权利要求4所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第一夹紧组件还包括设置在所述的第一侧齿安装板上的第一调整杆，所述的第一调整杆上设置有多个沿左右方向延伸设置的第一腰形孔，所述的第一调整杆通过所述的第一腰形孔可左右移动的安装在所述的第一侧齿安装板上。

6.如权利要求5所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第二夹紧组件还包括用于安装所述的第二侧齿组的第二侧齿安装板、固定在所述的第二侧齿安装板下侧的第二侧齿安装架，所述的第二侧齿安装架可左右移动的设置在一第二移动架上，所述的第二移动架上安装有用于驱动所述的第二侧齿安装架左右移动的第二侧齿驱动汽缸。

7.如权利要求6所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第二夹紧组件还包括第二支架，所述的第二移动支架可左右移动的设置在所述的第二支架上，所述的第二支架上还安装有一用于驱动所述的第二移动支架左右移动的第二移动架驱动汽缸。

8.如权利要求7所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第二夹紧组件还包括设置在所述的第二侧齿安装板上的第二调整杆，所述的第二调整杆上设置有多个沿左右方向延伸设置的第二腰形孔，所述的第二调整杆通过所述的第二腰形孔可左右移动的安装在所述的第二侧齿安装板上。

9.如权利要求8所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的相邻的第一侧齿之间形成的间隙和相邻的第二侧齿之间形成的间隙，所述的间隙包括相互连通的楔形部和平直部，所述的楔形部的宽度从开口处向内逐渐减小，所述的平直部的宽度与所述的楔形部的最小宽度一致。