[实用新型]一种基于固体反射层的声表面波谐振器有效
| 申请号： | 201820710758.8 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN207853857U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王国浩 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) 11226 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声表面波谐振器 布拉格反射层 压电材料基板 反射层 本实用新型 反射层组 布拉格反射 叉指结构 谐振器 漏波 | ||
1.一种基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层。
2.根据权利要求1所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层的厚度与第二布拉格反射层的厚度相同或者不同。
3.根据权利要求2所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层的厚度在10μm-1000μm。
4.根据权利要求2所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第二布拉格反射层的厚度在10μm-1000μm。
5.根据权利要求2所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层为二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或碳化硅。
6.根据权利要求2所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第二布拉格反射层为钨、氮化铝、氧化铪、氧化钛或氧化铊。
7.根据权利要求1所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述反射层组为2-10组。
8.根据权利要求1所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指结构为铜、铝、铬、银或钛。
9.根据权利要求1所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指结构的厚度为1μm-500μm。
10.根据权利要求1所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述压电材料基板为石英、铌酸锂或钛酸钡；和/或所述压电材料基板的厚度为50nm-1μm。
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