[实用新型]硅片花篮

权利要求书

1.一种硅片花篮，其特征在于，所述硅片花篮至少包括：

相对平行设置的第一挡板及第二挡板，其中，所述第一挡板内侧的左右两侧缘设有相互平行的两第一通槽，所述第二挡板内侧的左右两侧缘设有相互平行的两第二通槽；

复数个侧挡条，每个所述侧挡条的两端分别插入同一侧的所述第一通槽及所述第二通槽，并可在所述第一通槽及所述第二通槽内滑动，所述侧挡条滑动至目标位置后与所述第一通槽及所述第二通槽采用螺纹连接固定；

底板，跨接在所述第一挡板及所述第二挡板的底端，用于对硅片下边缘限位；

固定板，固定于所述侧挡条的内侧壁，且所述固定板的内侧形成有若干个插接板，相邻两所述插接板之间具有硅片插接槽。

2.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述第一通槽上端与所述第一挡板上端平齐，所述第一通槽下端位于所述第一挡板的底部上方，所述第二通槽上端与所述第二挡板上端平齐，所述第二通槽下端位于所述第二挡板的底部上方。

3.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述固定板与所述侧挡条采用螺纹连接，所述侧挡条与所述第一通槽及所述第二通槽采用螺钉连接。

4.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮包括4个所述侧挡条，其中，所述第一挡板及所述第二挡板的左侧端设置有上下相对的2个所述侧挡条，其右侧端匹配地设置有上下相对的另2个所述侧挡条。

5.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述第一挡板及所述第二挡板内侧下方设有水平方向的底板槽，所述底板通过所述底板槽跨接在所述第一挡板及所述第二挡板之间。

6.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述第一挡板及所述第二挡板上设置有机台定位装置。

7.根据权利要求6所述的硅片花篮，其特征在于：所述第一挡板及所述第二挡板的下端中间设置有复数个圆形通孔，所述圆形通孔用于机台定位。

8.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述第一挡板及所述第二挡板的上端中间设置有第一卡槽，所述第一卡槽左右两侧对称设置有第二卡槽，所述第一卡槽与所述第二卡槽用于硅片花篮的固定与取用。

9.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述底板上表面设置有弹性材料层。

10.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述硅片插接槽内部设置有柔性垫片。