[实用新型]一种单晶硅棒两线开方机有效
申请号: | 201820708214.8 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN208375636U | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 张顼;段景波;解培玉;王永华;盛东营 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D7/04;B28D5/02 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 刘洪勋 |
地址: | 266000 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅棒 切割头机构 进给滑台 切割线 底座 本实用新型 夹持机构 上料组件 下料组件 线开方机 开方 切割 平行线 全自动化操作 工业自动化 底座连接 加工设备 立柱框架 切割效率 支撑组件 质量稳定 传统的 开方机 边距 产能 固设 可调 棱线 绕过 四线 无极 优化 | ||
1.一种单晶硅棒两线开方机,包括底座(1),所述底座(1)上设有上料组件(2)、下料组件(3)、切割头机构(5)、夹持机构(6)及进给滑台组件(7),其特征在于,所述上料组件(2)和下料组件(3)通过支撑组件(4)与底座(1)连接,所述支撑组件(4)垂直于进给滑台组件(7)的进给方向设置,所述上料组件(2)和下料组件(3)分别位于支撑组件(4)的两端,且上料组件(2)和下料组件(3)的进给方向垂直于进给滑台组件(7)的进给方向;
所述进给滑台组件(7)通过立柱框架(8)设于底座(1)上方,所述夹持机构(6)固设于进给滑台组件(7)的下方,且夹持机构(6)与进给滑台组件(7)同步进给,所述切割头机构(5)位于支撑组件(4)的一侧,切割线(10)绕过切割头机构(5)形成平行线以切割单晶硅棒。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述上料组件(2)包括上料固定板(201)、第一夹爪(202)和第二夹爪(203),所述第一夹爪(202)和\或第二夹爪(203)与上料固定板(201)活动连接,所述第一夹爪(202)和第二夹爪(203)的纵截面均呈V型,且两者的V型开口相对设置以形成容纳单晶硅棒的空间,所述上料固定板(201)的上表面且位于第一夹爪(202)、第二夹爪(203)之间设有上料托块(204)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述下料组件(3)包括下料固定板(301)、下料气缸(302)、托板(303)和纵截面呈L型的下料托块(304),所述下料气缸(302)的缸体端与下料固定板(301) 的上表面固连,其活塞端与托板(303)的下表面固连,所述下料托块(304)设为2个,且2个下料托块(304)相对的设于托板(303)的上表面,所述下料固定板(301)与托板(303)之间设有导向柱(305)。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述支撑组件(4)包括垫板(401)、上料电缸模组(402)和下料电缸模组(403),所述上料电缸模组(402)的导轨滑块上设有上料组件支撑板(404),所述下料电缸模组(403)的导轨滑块上设有与下料固定板(301)固连的下料组件支撑板(405),所述上料组件支撑板(404)上设有上料缓冲组件,所述上料缓冲组件包括第一缓冲座(406)、第二缓冲座(407)和缓冲弹簧(408),所述第一缓冲座(406)的底部与上料组件支撑板(404)固连,其顶部为自由端,所述第二缓冲座(407)的底部为自由端,其顶部与上料固定板(201)固连,所述缓冲弹簧(408)的两端分别连接第一缓冲座(406)和第二缓冲座(407)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述进给滑台组件(7)包括滑台(701)、滑台驱动电机(702)和进给丝杠(703),所述进给丝杠(703)的两端分别通过丝杠支撑架(704)与立柱框架(8)固连,所述进给丝杠(703)的外围套设有与其螺纹配合的滑动座(706),所述滑动座(706)的底部与滑台(701)固连,其一侧与滑台驱动电机(702)的输出端连接,所述滑台(701)通过位于其下方的滑块(705)与立柱框架(8)滑动连接。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述夹持机构(6)包括定夹头(601)、动夹头(602)和夹边皮组件,所述定夹头(601)的顶端与滑台(701)固连,所述动夹头(602)的顶端与滑台(701)滑动连接,所述定夹头(601)、动夹头(602)均为浮动夹头,所述浮动夹头包括夹头本体(604)、设置于夹头本体后侧的膜片(605)以及设置于所述夹头本体(604)与膜片(605)之间的球头(606)。
7.根据权利要求6所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述夹边皮组件设为2个,且2个夹边皮组件分别与定夹头(601)、动夹头(602)连接,所述夹边皮组件至少包括2个夹边皮气缸(603),所述至少2个夹边皮气缸(603)位于定夹头(601)或动夹头(602)的外围,所述2个夹边皮组件中至少一者与边皮旋转元件(614)连接。
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