[实用新型]掩膜板、显示器件、显示面板及显示终端有效
申请号: | 201820707909.4 | 申请日: | 2018-05-14 |
公开(公告)号: | CN208266251U | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 刘明星;王徐亮;张玄;甘帅燕;高峰 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 开口 掩膜板 蒸镀 投影 显示面板 显示器件 显示终端 玻璃面 蒸镀面 本实用新型 玻璃 褶皱 传输通道 方向垂直 间距加宽 开口覆盖 正投影 变宽 拉伸 传输 传递 贯穿 | ||
本实用新型涉及一种掩膜板、显示器件、显示面板及显示终端,掩膜板包括蒸镀面和背向蒸镀面的玻璃面,掩膜板上阵列分布有多个蒸镀开口,蒸镀开口贯穿蒸镀面和玻璃面,且蒸镀开口包括在蒸镀面上的第一开口和在玻璃面上的第二开口,第一开口在玻璃面上的正投影为第一投影开口,第一投影开口覆盖第二开口;其中,在拉伸掩膜板的第一方向上第一投影开口与第二开口之间的间距为第一间距,在与第一方向垂直的第二方向上第一投影开口与第二开口之间的间距为第二间距,第二间距小于第一间距,第一开口在第二方向上的开口范围较小,掩膜板在第二方向上相邻两个第一开口之间的间距加宽,拉力沿第一方向传递的传输通道变宽,拉力传输更加顺畅,不易引起褶皱。
技术领域
本实用新型涉及显示器件制备技术领域,特别是涉及掩膜板、显示器件、显示面板及显示终端。
背景技术
目前OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)采用真空蒸镀技术制备有机发光层。在器件制备过程中,有机材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上,为使有机材料按照设计蒸镀到特定的位置上,需要使用高精度金属掩膜板,掩膜板(即高精度金属掩膜板)上留有预先设计好的有效开口区域,通过该有效开口区域,有机材料沉积到背板上面,形成预设图形。其中,有效开口区域内分布有多个蒸镀开口,以允许蒸镀材料通过。
在实际生产中,发明人发现,采用现有技术中的掩膜板,蒸镀的有机材料与背板上设计的像素位置出现偏差,影响产品的性能。
实用新型内容
基于此,本实用新型提供了一种掩膜板,解决了蒸镀的有机材料与背板上设计的像素位置出现偏差的问题,提高了产品性能。
为了实现上述目的,本实用新型提供了一种掩膜板。
一种掩膜板,包括蒸镀面和背向所述蒸镀面的玻璃面,所述掩膜板上阵列分布有多个蒸镀开口,所述蒸镀开口贯穿所述蒸镀面和所述玻璃面,且所述蒸镀开口包括在所述蒸镀面上的第一开口和在所述玻璃面上的第二开口,所述第一开口在所述玻璃面上的正投影为第一投影开口,所述第一投影开口覆盖所述第二开口;
其中,在拉伸掩膜板的第一方向上所述第一投影开口与第二开口之间的间距为第一间距,在与所述第一方向垂直的第二方向上所述第一投影开口与所述第二开口之间的间距为第二间距,所述第二间距小于所述第一间距。
上述掩膜板中,蒸镀开口用于蒸镀材料,并且蒸镀开口在蒸镀面和玻璃面上分别包括第一开口和第二开口,第一开口在玻璃面上的第一投影开口覆盖第二开口,即第一开口大于第二开口。并且,第二间距小于第一间距,也就是第一开口和第二开口在第二方向上的间距,小于第一开口和第二开口在第一方向上的间距,所以第一开口在第二方向上的开口范围小于其自身在第一方向上的开口范围,如此掩膜板在第二方向上相邻两个第一开口之间的间距宽于在第一方向上相邻两个第一开口之间的间距,拉力沿第一方向传递的传输通道变宽,使掩膜板上承受拉力的受力面积变大,拉力的传输更加顺畅,掩膜板不容易在拉力作用下产生褶皱,防止像素开口与背板上设计的像素位置异位,避免蒸镀的有机材料混色,提高产品性能。
在其中一个实施例中,所述蒸镀开口包括第一刻蚀孔和第二刻蚀孔,所述第一刻蚀孔具有所述第一开口,所述第二刻蚀孔具有所述第二开口;所述第一刻蚀孔在所述第一开口指向所述第二开口的方向上逐渐收拢,所述第二刻蚀孔在所述第二开口指向所述第一开口的方向上逐渐收拢至与所述第一刻蚀孔连通。
在其中一个实施例中,沿平行所述蒸镀面的平面,所述第一刻蚀孔和所述第二刻蚀孔的横截面均为矩形。
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