[实用新型]一种剥离液再生装置

说明书

本实用新型涉及一种剥离液再生装置，涉及的装置结构包括沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔、薄膜蒸发器和脱色精馏塔，脱水精馏塔进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池和一级膜过滤池。本实用新型有助于提高剥离液整体再生效率和剥离液终产率，满足光刻胶剥离液废液的回收利用需求。

技术领域

本实用新型涉及剥离液再生技术领域，特别涉及一种剥离液再生装置。

背景技术

国内电子制造产业发展迅速，使剥离液等电子化学品的使用量大幅度増加。液晶显示面板、半导体集成电路等电子元器件生产过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去，通常使用的剥离液是由有机胺与极性有机溶剂组成的混合物，并含有少量以水分为代表的轻组分。上述有机胺包括单乙醇胺（MEA）、二甲基乙酰胺（DMAC）、N-甲基甲酰胺（NMF）或N-甲基二乙醇胺（MDEA）等；极性有机溶剂包括二乙二醇甲醚（DGME）、二乙二醇单丁醚（DGBE）或二甲基亚砜（DMSO）等。使用剥离液对光刻胶进行去除时会产生大量剥离液废液，剥离液废液中除了含有少量高分子树脂（或 PR胶）和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂，而这些溶剂价格昂贵直接排放容易造成严重的环境污染，且提高了企业的经营成本。

现有光刻胶去除工艺中，使用的主流剥离液组分包括70%的乙醇胺和30%的二甲基亚砜；剥离液在光刻胶清洗完成后即为剥离液废液，剥离液废液的组分包括水、光刻胶、乙醇胺和二甲基亚砜；回收后期望得到的组分中乙醇胺含量接近70%，二甲基亚砜接近30%，水分含量＜0.2%，光刻胶未检出，以及其他金属离子含量为 PPB级。

采用现有技术进行剥离液废液再生时，整体再生效率低下，产率不高，影响光刻胶剥离液废液的回收利用效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是，对现有的剥离液废液回用再生技术存在的技术问题，设计一种剥离液再生装置，提高剥离液整体再生效率和剥离液终产率，满足光刻胶剥离液废液的回收利用需求。

本实用新型通过以下技术方案实现：

一种剥离液再生装置，其特征在于，结构包括：沿剥离液废液提纯工艺剥离液流动方向依次设置的脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）和脱色精馏塔（3）；

所述脱水精馏塔（1）进料口端设置有依次相接的剥离液废液熔炼池（12）和一级膜过滤池（14）；

所述剥离液废液熔炼池（12）、一级膜过滤池（14）、脱水精馏塔（1）、薄膜蒸发器（2）及脱色精馏塔（3）沿剥离液废液流动方向依次连通；

所述剥离液废液熔炼池（12）进料口端设置原料进料泵（11），一级膜过滤池（14）进料口端设置废液输送泵（13），脱水精馏塔（1）进料口端设置雾化泵（15）；

所述雾化泵（15）与脱水精馏塔（1）之间设置预热器（16），预热器（16）出口端通过分支管路分别连通至脱水精馏塔（1）和薄膜蒸发器（2）；

所述脱水精馏塔（1）底部连接有脱水塔循环泵（18），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与脱水再沸器（17）连接，脱水再沸器（17）出口端连通至脱水精馏塔（1），脱水塔循环泵（18）出口端通过分支管路与预热器（16）连通；

所述脱水精馏塔（1）顶部出口端连接脱水塔冷凝器（101），脱水塔冷凝器（101）外接一级去真空系统（104），脱水塔冷凝器（101）底部连接脱水塔回流罐（102），脱水塔回流罐（102）底部连接脱水塔回流泵（103），脱水塔回流泵（103）通过分支管路分别连接至脱水精馏塔（1）和一级工艺废水输出阀（105）；

所述薄膜蒸发器（2）底部设置残渣中储罐（21），残渣中储罐（21）底部设置残渣出料泵（22），残渣出料泵（22）出口端设置残渣卸料阀（23）；