[实用新型]一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置

权利要求书

1.一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，包括射频电感耦合等离子体反应装置，其特征在于，所述射频电感耦合等离子体反应装置包括：石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件，所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口，所述真空气路接口上方连接真空规，所述真空气路接口与真空规通过三通管件连接。

2.根据权利要求1所述的一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，其特征在于，所述石英管底部为盲管，所述盲管规格为外径Φ65mm、高250mm、壁厚4mm，所述石英管与固定法兰组件连接。

3.根据权利要求1所述的一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，其特征在于，所述螺线管型线圈为外径Φ 8mm、壁厚1mm的铜管绕制，所述螺线管型线圈共11匝，所述螺线管型线圈规格为内径ID 68mm、高约120mm，所述螺线管型线圈两端连接射频电源。

4.根据权利要求1所述的一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，其特征在于，所述石英管（6）底部可盛放衬底材料，且所述石英管（6）底部装置于螺线管型线圈（7）内。

5.根据权利要求3所述的一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，其特征在于，所述射频电源为13.56MHz，0-500W的电源。