[实用新型]一种相连真空腔体密封隔绝的装置有效

专利信息
申请号: 201820701319.0 申请日: 2018-05-11
公开(公告)号: CN208381299U 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 潘学勤 申请(专利权)人: 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
主分类号: F16J15/06 分类号: F16J15/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 密封环 内置 密封隔绝 内密封圈 真空腔体 平整光滑面 斜面向下 密封槽 装配
【说明书】:

一种相连真空腔体密封隔绝的装置,它由内置密封环和内密封圈组成。所述内密封圈装配于内置密封环后面的密封槽内,内置密封环前端有斜面向下45度角的斜面,内置密封环45度角斜面的表面为平整光滑面。

技术领域

本实用新型涉及一种相连真空腔体密封隔绝之间环境的设备,尤其涉及对于两个相连真空腔体在工作中需要不同的环境,把两个腔体之间暂时隔离的装置。

背景技术

相连真空腔体密封隔绝的装置是一种隔离保护装置,在密封真空领域有着广泛应用。在设备中,相连真空腔体密封隔绝的装置对真空腔体之间的不同环境需求起到至关作用,内置密封环为相连真空腔体密封隔绝提供保障,避免相连真空腔体在工作中环境相互影响。为此,特设计一种相连真空腔体密封隔绝的装置,使真空腔体在工作中腔体内环境不受相连腔体的环境影响,稳定可靠。

发明内容

为实现上述目的,本实用新型所提供的技术方案是:一种相连真空腔体密封隔绝的装置,它由内置密封环和内密封圈组成。所述内密封圈装配于内置密封环后面的密封槽内;内置密封环前端有斜面向下45度角的斜面;内置密封环45度角斜面的表面为平整光滑面;

所述的相连真空腔体密封隔绝的装置,内置密封环后面有密封槽;

所述的相连真空腔体密封隔绝的装置,内置密封环前端的斜面角度为45度角;

所述的相连真空腔体密封隔绝的装置,内置密封环斜面的表面平整光滑;

本实用新型的优点是:稳定性好,安装简单;内置密封环和内密封圈为隔绝相连真空腔体之间的环境提供保障,确保相连真空腔体在工作中环境能够独立,确保不会彼此影响,使用灵活。

附图说明

图1为本实用新型的前腔、内密封圈、内置密封环、外密封圈、门板、卡销、连接块、动力传输密封组件、气缸、后腔装配示意图;

图2为本实用新型的前腔、内密封圈、内置密封环、外密封圈、门板、卡销、连接块、动力传输密封组件、气缸、后腔装配爆炸示意图;

图3为本实用新型的内置密封环示意图;

图4为本实用新型的内置密封环示意图;

1.前腔;2. 内密封圈;3. 内置密封环;4. 外密封圈;5. 门板;6. 卡销;7. 连接块; 8. 动力传输密封组件;9. 气缸;10. 后腔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明,本实用新型较佳实施例为:参见附图1、附图2、附图3和附图4。本实例所述的一种相连真空腔体密封隔绝的装置,它由内密封圈2和内置密封环3组成。所述内密封圈2装配于内置密封环3的密封凹槽内,内密封圈2和内置密封环3的组合体装配于后腔10的内部凹槽内,由于内密封圈2的作用,使后腔10的凹槽和内置密封环3之间密封,外密封圈4装配于门板5的密封凹槽内,由于内置密封环3的前端45度角的平整光滑面的作用,外密封圈4和门板5的组合体可以配合内置密封环3的45度角的平整光滑面达到密封隔绝的效果;

当气缸9作动时,带动动力传输密封组件8,从而带动门板5作动,当门板5和内置密封环3的45度角的平整光滑面接触时,当内置密封环3配合内密封圈2装配于后腔10的凹槽内时,由于内置密封环3的45度角面的平整光滑和内密封圈2的作用,达到隔绝相连真空腔体之间环境的作用,从而保证了前腔1和后腔10 环境的独立,彼此不会互相影响;

以上所述实例只为本实用新型之较佳实例,并非以此限制本实用新型的实施范围。故凡依本实用新型的形状、原理所做的变化,均应涵盖在本实用新型保护范围内。

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