[实用新型]一种用于薄膜沉积实验的样品支架

权利要求书

1.一种用于薄膜沉积实验的样品支架，其特征在于：包括架体(1)，所述架体(1)呈棱锥形且棱锥的斜立面上设有用于摆放样品的托板(2)，所述托板(2)上设有用于固定样品的固定结构；所述固定结构包括呈T形的卡条(3)以及间隔设置在托板(2)前端面的多个凹槽(221)，所述卡条(3)与凹槽(221)卡接。

2.如权利要求1所述的一种用于薄膜沉积实验的样品支架，其特征在于：所述架体(1)呈三棱锥形。

3.如权利要求1或2所述的一种用于薄膜沉积实验的样品支架，其特征在于：还包括温度控制仪(6)；所述托板(2)为包括热传导层(22)和隔热层(23)的双层结构，所述热传导层(22)和隔热层(23)之间安装有电热丝(4)和温度传感器(5)；所述温度控制仪(6)与电热丝(4)和温度传感器(5)连接。

4.如权利要求3所述的一种用于薄膜沉积实验的样品支架，其特征在于：所述温度传感器(5)设置在托板(2)的中心。