[实用新型]三乙基镓的收集装置有效
| 申请号： | 201820695844.6 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN208634793U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 浦爱东;魏滨 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三乙基镓 冷阱 灌装容器 储罐 主管路 氮气管路系统 支路 加热系统 连接主管 收集装置 真空收集 真空管路系统 真空系统管路 本实用新型 连接支路 尾气管路 自燃 加热 置换 残留 | ||
1.三乙基镓的收集装置，其特征在于：包含三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱、第二冷阱、真空管路系统以及氮气管路系统，所述三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱依次接入主管路，所述三乙基镓灌装容器通过连接支路连接至主管路的前端，所述收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别通过进向支路和出向支路连接主管路，所述三乙基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别连接尾气管路系统，所述真空管路系统连接至主管路的后端，所述氮气管路系统连接主管路；所述三乙基镓灌装容器和氮气管路系统置于加热系统中。
2.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述第一冷阱和第二冷阱置于液氮杜瓦罐中。
3.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述三乙基镓灌装容器与收集储罐之间的主管路上设有阀门。
4.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述收集储罐的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。
5.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述第一冷阱的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。
6.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述第二冷阱的进向支路与出向支路之间的主管路上设有阀门。
7.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：所述氮气管路系统的接入点位于收集储罐的进向支路与出向支路之间的主管路上。
8.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：三乙基镓灌装容器的连接支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门。
9.根据权利要求1所述的三乙基镓的收集装置，其特征在于：收集储罐的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门；第一冷阱的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门；第二冷阱的进向支路和出向支路以及其尾气管路系统的连接管路上设有阀门。
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