[实用新型]一种高灵敏度柔性压力传感器有效
| 申请号: | 201820690049.8 | 申请日: | 2018-05-10 |
| 公开(公告)号: | CN208350249U | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
| 发明(设计)人: | 张学锋;柴润宁;阮晓光;蔡安江 | 申请(专利权)人: | 西安建筑科技大学 |
| 主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 段俊涛 |
| 地址: | 710055*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性压力传感器 高灵敏度 电极 本实用新型 压敏层 聚二甲基硅氧烷 复合材料薄膜 碳纳米管 灵敏度 微结构 下电极 两层 下电 封装 响应 | ||
1.一种高灵敏度柔性压力传感器,包括上电极(1-1)、压敏层(1-2)以及下电极(1-3),所述压敏层(1-2)为碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜,其特征在于,所述碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜的一个表面为带有凸起的微结构,两个碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜的凸起相对贴合,构成所述压敏层(1-2)。
2.根据权利要求1所述高灵敏度柔性压力传感器,其特征在于,所述上电极(1-1)、下电极(1-3)均为镀有铜的柔性PC板电极。
3.根据权利要求1所述高灵敏度柔性压力传感器,其特征在于,所述凸起为半球形,均匀分布。
4.根据权利要求1所述高灵敏度柔性压力传感器,其特征在于,所述碳纳米管为多壁碳纳米管,碳纳米管内径5~10纳米,外径10~31纳米,长度为10~30微米。
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