[实用新型]纳秒脉冲电化学微细加工装置

权利要求书

1.一种纳秒脉冲电化学微细加工装置，包括加工平台基座、电解液槽、工件夹持机构、电极夹持机构、电源、控制电路和工件/电极相对位置调整机构；电源为本加工装置的用电部分提供电源；所述工件夹持机构在电解液槽内，电极夹持机构在工件夹持机构的上方，其特征是所述工件/电极相对位置调整机构包括大位移的宏运动机构和微量位移的微运动机构；

大位移的宏运动机构包括X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构，X向、Y向和Z向与三维坐标系xyz的X、Y和Z轴方向对应；X向、Y向和Z向运动机构的驱动装置都是交流伺服电机，分别设为X电机、Y电机和Z电机；

微量位移的微运动机构的运动方向为Z’向，Z’向与三维坐标系xyz的Z轴方向对应；微运动机构包括压电致动器；压电致动器的主体竖直固定于Z向运动机构，且随之作Z向运动；电极夹持机构连接在压电致动器上，且随之作Z’向运动；

压电致动器、X电机、Y电机和Z电机的控制输入端分别通过驱动电路连接控制电路的相应控制信号输出端；

所述X向运动机构固定在加工平台基座上；Y向运动机构固定在X向运动机构上，随之作X向运动；电解液槽固定在Y向运动机构上，随之作Y向运动；Z向运动机构固定在加工平台基座上。

2.根据权利要求1所述的纳秒脉冲电化学微细加工装置，其特征是所述X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构都是由交流伺服电机驱动滚轴丝杠-螺母机构构成的滑台，分别是X向、Y向和Z向运动滑台。

3.根据权利要求2所述的纳秒脉冲电化学微细加工装置，其特征是

所述X向运动滑台的滑动路径上布设有用于测量和反馈X向运动位移的光栅传感器；

所述Y向运动滑台的滑动路径上布设有用于测量和反馈Y向运动位移的光栅传感器；

所述Z向运动滑台的滑动路径上布设有用于测量和反馈Z向运动位移的光栅传感器；

各个光栅传感器的信号输出端连接控制电路的反馈信号输入端。

4.根据权利要求1所述的纳秒脉冲电化学微细加工装置，其特征是

所述压电致动器的驱动电路包括依次连接的D/A转换电路和电压放大电路，电压放大电路的输出端连接压电致动器的功放输入端；D/A转换电路的输入端连接控制电路的相应信号输出端；

还包括压电致动器的微位移检测电路，它包括位移拾取电路、信号放大电路和A/D转换电路；所述位移拾取电路由测量桥路构成，测量桥路的反馈电压经信号放大电路放大后，再经A/D转换电路转换后传送给控制电路的输入端。

5.根据权利要求1所述的纳秒脉冲电化学微细加工装置，其特征是还包括工具显微镜；工具显微镜的镜头对准工件夹持机构所在的加工位置。

6.根据权利要求1所述的纳秒脉冲电化学微细加工装置，其特征是还包括工作液循环泵；工作液循环泵的进液口和出液口分别通过管道连接电解槽。