[实用新型]一种晶体真空退火炉装置有效
| 申请号： | 201820679266.7 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN208219015U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 罗毅;龚瑞 | 申请（专利权）人： | 安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体真空 真空炉体 退火炉 真空泵 炉筒 真空度测试仪 本实用新型 第二壳体 第一壳体 加热元件 测温器 放置架 控制柜 底座 三级真空泵组 冷却水管路 不良现象 力学性能 退火过程 脱脂 真空炉 氧化物 夹层 除气 晶棒 炉门 脱碳 蒸发 体内 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体真空退火炉装置，包括底座及设在所述底座上的真空炉体、真空泵和控制柜，其特征在于：所述的真空炉体包括炉筒和炉门，所述炉筒由第一壳体、第二壳体、加热元件、测温器和真空度测试仪构成，在所述第一壳体和第二壳体的夹层内设有冷却水管路，在所述炉筒的中央和加热元件的内侧设有晶体放置架，所述测温器和真空度测试仪设在所述晶体放置架内；所述真空泵连接于所述真空炉体的侧面，所述控制柜内设有单片机和显示器，所述单片机与所述测温器和真空度测试仪通讯连接，所述显示器用于显示测温器和真空度测试仪监测的温度及真空度参数。
2.根据权利要求1所述的一种晶体真空退火炉装置，其特征在于：所述的真空泵为三级真空泵组。
3.根据权利要求1所述的一种晶体真空退火炉装置，其特征在于：所述的加热元件为钼带。
4.根据权利要求1所述的一种晶体真空退火炉装置，其特征在于：所述的晶体放置架的材质为耐高温95瓷。
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