[实用新型]真空镀膜机冷却结构

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机冷却结构领域，尤其涉及真空镀膜机冷却结构。通过侧门本体正面中央上分别设有第一观察镜组和第二观察镜组，第一观察镜组包括从上到下依次设有的三个第一观察镜，第二观察镜组包括从上到下依次设有的两个第二观察镜；所述侧门本体背面设有冷却盘管，该冷却盘管由若干横管、若干第一圆弧管和若干第二圆弧管组成；所述第一圆弧管位于第一观察镜组外，第二圆弧管位于第二观察镜组外；所述第一圆弧管与第二圆弧管相对的端部由横管连接，且位于最顶端和最底端的第二圆弧管外侧端均连接有横管；使真空镀膜机冷却结构冷却效果好。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机冷却结构领域，尤其涉及真空镀膜机冷却结构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种；由于目前镀膜机内的冷却结构比较单一，冷却效果不佳，导致镀膜机内的部件使用寿命较短。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供冷却效果好的真空镀膜机冷却结构。

本实用新型的技术方案如下：

真空镀膜机冷却结构，包括侧门本体，该侧门本体正面上设有弯曲盘旋状的盘管，该盘管的两个端部均位于侧门本体底部；所述侧门本体正面中央上分别设有第一观察镜组和第二观察镜组，第一观察镜组包括从上到下依次设有的三个第一观察镜，第二观察镜组包括从上到下依次设有的两个第二观察镜；所述侧门本体背面设有冷却盘管，该冷却盘管由若干横管、若干第一圆弧管和若干第二圆弧管组成；所述第一圆弧管位于第一观察镜组外，第二圆弧管位于第二观察镜组外；所述第一圆弧管与第二圆弧管相对的端部由横管连接，且位于最顶端和最底端的第二圆弧管外侧端均连接有横管。

所述侧门本体背面的四个侧边上均设有支撑条，上、下侧的支撑条上均开设有第一通孔，左、右侧的支撑条上均开设有第二通孔；所述上、下侧支撑条上的第一通孔一一对应，左、右侧支撑条上第二通孔一一对应。通过上、下侧支撑条上的第一通孔一一对应，以便于形成风压，加速空气流动；通过左、右侧支撑条上第二通孔一一对应，以便于形成风压，加速空气流动，加快降温。

所述第一延伸部正面开设有第一接头，第二延伸部正面开设有第二接头。通过设置第一、第二接头以便于通入冷却水。

所述盘管头端朝向内侧的盘管延伸形成第一延伸部，盘管尾端朝向内侧的盘管延伸形成第二延伸部。通过设置第一、第二延伸部，使得盘管形状更美观。

本实用新型的有益效果是：通过设置观察镜组以便于对镀膜机内部进行观察；通过设置盘管，使用时在盘管内通入冷却水，以降低温度；由于在侧门本体背面也设冷却盘管，与正面的盘管配合使用，能够大大降低侧门本体的温度。

附图说明

通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。

其中：图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型背面结构示意图；

附图中，1为侧面本体，2为盘管，3为第一观察镜，4为第二观察镜，5为横管，6为第一圆弧管，7为第二圆弧管，8为支撑条，12为第一接头，13为第二接头，14为第一延伸部，15为第二延伸部。

具体实施方式