[实用新型]一种高效气液混合器

说明书

本实用新型公开一种高效气液混合器，其包括混合桶和气体控制模块。混合桶内设有混合填充料，混合桶包括上连接筒和下连接筒，上连接筒和所述下连接筒可拆卸地连接。气体控制模块连接于混合桶，气体控制模块包括气体传输管、调压阀、U形支管、直形支管、两个第一气动阀、第二气动阀、外支管和单向阀，调压阀设置于气体传输管上，U形支管连接于气体传输管的一侧，直形支管并排设置于U形支管之间，两个第一气动阀设置于U形支管上，第二气动阀设置于直形支管的底部，外支管的一端连接于U形支管的其中一端，单向阀设置于外支管的另一端。本实用新型混合效率高，可精确控制混合后的臭氧水浓度，不容易产生气泡，使制程工艺更加稳定安全。

技术领域

本实用新型涉及光伏制造的水处理技术领域，特别是涉及一种高效气液混合器。

背景技术

随着超大规模集成电路的发展，对硅片表面的洁净度和表面态的要求越来越高。臭氧为不稳定的气体，具有强烈的腐蚀性和氧化性，利用臭氧超净水清洗硅片，可满足更加严格的硅片表面洁净度及大直径硅片工艺的要求，且大大减少对环境的污染。

目前光伏行业所使用的臭氧水主要由射流器制成，采用此种方法混合效率低，会有气泡产生，并且无法精确控制混合后的臭氧水浓度。

实用新型内容

为了克服上述问题，本实用新型提供一种高效气液混合器。

本实用新型的技术方案是提供一种高效气液混合器，其包括混合桶和用以控制气体进入所述混合桶的气体控制模块。所述混合桶包括上连接筒和下连接筒，所述上连接筒和所述下连接筒可拆卸地连接。所述气体控制模块连接于所述混合桶，所述气体控制模块包括气体传输管、调压阀、U形支管、直形支管、两个第一气动阀、第二气动阀、外支管和单向阀，所述调压阀设置于气体传输管上，所述U形支管连接于气体传输管的一侧，所述直形支管并排设置于U形支管之间，所述两个第一气动阀设置于U形支管上，所述第二气动阀设置于直形支管的底部，所述外支管的一端连接于U形支管的其中一端，所述单向阀设置于所述外支管的另一端。所述混合桶的顶部设置有用于臭氧气体进出所述气体控制模块内的进气口和用于液体进入所述混合桶内的进液口，所述混合桶内设置有混合填充料，用以使进入到所述混合桶内部的臭氧气体充分与液体进行混合并融入到液体内部形成臭氧混合液，所述混合桶的底部设置有用于加工后的臭氧混合液输出的出液口。

进一步地，所述进气口连接所述气体传输管。

进一步地，所述混合桶还包括上连接盘和下连接盘，所述上连接盘设置于所述上连接筒的底部，所述下连接盘设置于所述下连接筒的顶部，所述上连接筒和所述下连接筒通过所述上连接盘和所述下连接盘可拆卸地连接。

更进一步地，所述上连接盘和所述下连接盘之间通过螺钉组螺接。

与现有技术相比，本实用新型的一种高效气液混合器包括有混合桶及气体控制模块，气体控制模块可根据工艺需求精确控制气体进入混合桶，并防止液体回流到气体管路中；混合桶内包括有混合填充料，能够使进入到混合桶内部的臭氧气体充分与液体进行混合，并融入到液体内部形成臭氧混合液。本实用新型混合效率高，可精确控制混合后的臭氧水浓度，不容易产生气泡，使制程工艺更加稳定，并可防止液体回流到气体管路，保证设备安全运行；同时，设计合理，且密封性、安全性好，工作稳定。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的高效气液混合器中混合桶的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的高效气液混合器中的气体控制模块的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。

请结合参见图1和图2，本实用新型的一种高效气液混合器，其包括混合桶和气体控制模块2。本实施例中，混合桶包括有上连接筒1和下连接筒10。