[实用新型]单晶炉用外部化料装置

权利要求书

1.一种单晶炉用外部化料装置，单晶炉包括外部加料器(10)、主炉室坩埚(20)和立柱(30)，其特征在于：它包括：

用于熔化硅料的化料器(1)，所述化料器(1)的上端与外部加料器(10)相连通，以便将外部加料器(10)中的硅料加入化料器(1)中，所述化料器(1)的下端与主炉室坩埚(20)相连通，以便熔化后的硅料进入主炉室坩埚(20)中；

用于驱动化料器(1)升降的升降驱动装置，所述化料器(1)连接在升降驱动装置上，以便在不继续加料时，通过升降驱动装置驱动化料器(1)上升至不干涉主炉室坩埚上升的位置；

用于带动化料器(1)和升降驱动装置一起转动的旋臂(2)，所述旋臂(2)铰接在立柱(30)上，所述升降驱动装置连接在旋臂(2)上。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用外部化料装置，其特征在于：所述化料器(1)包括容料装置和用于给容料装置加热以便硅料熔化的热场(3)，所述容料装置分别和外部加料器(10)与主炉室坩埚(20)相连通。

3.根据权利要求2所述的单晶炉用外部化料装置，其特征在于：所述容料装置包括相互连通的装料器(4)和化料器坩埚(5)，所述热场(3)设置在化料器坩埚(5)的外侧，所述装料器(4)和外部加料器(10)相连通，所述化料器坩埚(5)和主炉室坩埚(20)相连通，以便硅料依次进入外部加料器(10)、装料器(4)和化料器坩埚(5)，并在化料器坩埚(5)内经热场(3)熔化后又进入主炉室坩埚(20)。

4.根据权利要求1所述的单晶炉用外部化料装置，其特征在于：所述外部加料器(10)和化料器(1)之间设置有旋阀(6)，以便通过旋阀(6)控制外部加料器(10)和化料器(1)之间是否连通。

5.根据权利要求1所述的单晶炉用外部化料装置，其特征在于：所述升降驱动装置包括支撑杆(71)、丝杆、电机(73)和连接块(72)，所述支撑杆(71)连接在旋臂(2)上，所述丝杆可旋转地支承在支撑杆(71)上，所述电机(73)连接在丝杆上，所述连接块(72)通过螺纹连接在丝杆上，所述化料器(1)连接在连接块(72)上，以便通过电机(73)驱动丝杆旋转，进而将丝杆的旋转运动转换为连接块(72)的直线运动，并通过所述连接块(72)带动化料器(1)升降。

6.根据权利要求5所述的单晶炉用外部化料装置，其特征在于：所述连接块(72)至少设置有两个。

7.根据权利要求5所述的单晶炉用外部化料装置，其特征在于：所述化料器(1) 的底端和主炉室坩埚(20)之间还设置有用于导流溶化后的硅料的导流管(8)。

8.根据权利要求7所述的单晶炉用外部化料装置，其特征在于：所述导流管(8)和支撑杆(71)均呈倾斜状设置，所述支撑杆(71)和导流管(8)的倾斜方向及倾斜角度一致。