[实用新型]一种扰流式气液分离回收装置

说明书

一种扰流式气液分离回收装置，包括本体，所述本体安装在湿式制程设备的水汽排出口端，所述本体包括型腔、轴和螺旋叶片，所述型腔为两端封口的圆柱形桶腔，型腔的顶部中心设有突出的圆形通孔，型腔底部一侧设有集液槽口，型腔底部中心设有安装孔，所述轴为圆柱形，轴的上半段为实心体，下半段为空心腔体，上半段与下半段的连接处设有通槽口，轴竖直安装在型腔内部，且轴的下半段与安装孔配合，螺旋叶片均匀安装在轴的外壁上。湿式制程设备产生的水汽进入型腔内部，带动螺旋叶片的转动，水汽在螺旋叶片上冷凝并经螺旋叶片转动的离心力作用，实现水汽分离，装置结构简单，制造成本低，气液分离效果好，回收的水液可循环使用，减少了设备的耗液量。

技术领域

本实用新型涉及湿式制程设备领域，尤其涉及一种扰流式气液分离回收装置。

背景技术

半导体制程是在超洁净无尘室进行的，仍然有些污染源的存在，至于污染源的来源，不外乎设备本身材料产生、现场作业员或制程工程师人体自身与动作的影响、化学材料或制程药剂残留或不纯度的发生，以及制程反应产生物的结果，尤其是制程反应产生物一项，更成为制程污染的主要来源，大多会造成良率和可靠度的下降；在半导体制程中，无论是在去光阻、化学气相沉淀、氧化扩散、晶圆研磨以后等各阶段制程都需要反复清洗步骤。

湿式制程机台在半导体产业已是成熟发展，但有些机构设计，使用上有维修困难、耗液量大、均匀性不佳、漏液，背面脏污等等问题。其中，反复清洗过程中，耗液量较大，针对耗液量大的问题，目前大多在水气分离箱增加拉西环，菜瓜布等增加抽取路径，通过层层过滤冷凝的方式回收分离的水，并再次循环使用，减少耗液量，这种方式的气液分离拉西环、菜瓜布等需经常更换，且过滤冷凝效果较差，使用寿命低，可回收的水量较少。

实用新型内容

本实用新型正是针对现有技术存在的不足，提供了一种扰流式气液分离回收装置。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案如下：

一种扰流式气液分离回收装置，包括本体，所述本体安装在湿式制程设备的水汽排出口端，所述本体包括型腔、轴和螺旋叶片，所述型腔为两端封口的圆柱形桶腔，型腔的顶部中心设有突出的圆形通孔，型腔底部一侧设有集液槽口，型腔底部中心设有安装孔，所述轴为圆柱形，轴的上半段为实心体，下半段为空心腔体，上半段与下半段的连接处设有通槽口，轴竖直安装在型腔内部，且轴的下半段与安装孔配合，螺旋叶片均匀安装在轴的外壁上。

进一步的，所述圆形通孔与外部管路连接，所述集液槽口与湿式制程设备的水液收集端管路联通。

进一步的，所述螺旋叶片上设有蜂槽式组网。

进一步的，所述轴的下半段与湿式制程设备的水汽排出口端之间弧形二通管联通，且轴上的通槽口位于型腔底部上方。

进一步的，所述螺旋叶片的外缘与型腔内壁之间为间隙配合。

本实用新型与现有技术相比较，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型所述的一种扰流式气液分离回收装置，安装在湿式制程设备的水汽排出口端，湿式制程设备产生的水汽经轴的下半段空心腔体和通槽口进入型腔内部，由于水汽的上升流动，带动螺旋叶片的转动，水汽在螺旋叶片上冷凝并经螺旋叶片转动的离心力作用，实现水汽分离，水液经型腔内壁流入集液槽口，通过管路回流至湿式制程设备的水液收集端，装置结构简单，制造成本低，气液分离效果好，回收的水液可循环使用，减少了湿式制程设备的耗液量，且气液分离装置的使用寿命大大提高。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种扰流式气液分离回收装置安装结构示意图；

图2为本实用新型所述的一种扰流式气液分离回收装置结构示意图；

图3为本实用新型所述的一种扰流式气液分离回收装置前视图；