[实用新型]一种固体和胶液分离过滤装置

说明书

一种固体和胶液分离过滤装置，包括电机，旋转部分，罐体等部分；所述旋转部分包括旋转轴，旋转筒；所述旋转轴一端与电机相连，另一端穿过套筒、旋转筒后固定在罐体上；所述旋转筒进料端与套筒旋转连接，另一端与旋转轴固定连接；通过利用旋转筒体旋转使得废液中胶液利用离心作用甩在旋转筒壁的滤网上，从滤网甩出，而固体废物则留在旋转筒里；罐体底部二次过滤，并利用气压使胶液很容易地通过过滤网，通过泵体将过滤后的胶液抽出，使得废弃料中固体和胶液快速的分离，提高了胶液回收的生产效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制备技术领域，具体地说是一种固体和胶液分离过滤装置。

背景技术

半导体晶片在利用光刻胶进行掩膜作业时，由于涂覆技术特殊性，使得大量光刻胶被浪费，由于光刻胶费用较高，而且作为废物处理难度大，所以在生产中需要对浪费的光刻胶进行过滤回收。由于光刻胶为胶状体，使得它与其它加工的固体废物分离较为困难，专利号CN204841122U介绍了一种废胶过滤装置，回收了生产中废弃的光刻胶，降低了生产成本。但是这种过滤装置固体和胶液分离速度太慢，生产效率低，不能满足生产线上废胶循使用的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种固体和胶液分离过滤装置，使得废胶和固体废物快速充分的分离，满足生产线上对废胶循环使用的要求。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种固体和胶液分离过滤装置，包括电机，旋转部分，罐体，其特征在于：还包括套筒，废料漏斗，进料阀，进气阀，气压表，放气阀，第二滤网，出胶口，出胶泵；所述旋转部分包括旋转轴，旋转筒；所述旋转轴一端与电机相连，另一端穿过套筒、旋转筒后固定在罐体上；所述旋转筒进料端与套筒旋转连接，另一端与旋转轴固定连接；所述套筒穿过罐体和旋转筒进料侧，并固定于罐体上，所述套筒位于罐体内一端与旋转筒旋转连接。

作为优化，所述的套筒与旋转轴同心安装，套筒上端设有进料口和进气口，所述的进料口靠近电机端，所述的进气口靠近罐体端。

作为优化，所述的旋转筒包括两侧转盘和过滤筒壁，所述转盘中间穿过旋转轴，进料侧一端转盘与套筒旋转连接，出料口一端转盘与旋转轴配合连接；所述过滤筒壁与转盘固定连接。

作为优化，所述过滤筒壁为滤网。

作为优化，所述的气压表位于进气管一侧。

作为优化，所述的放气阀位于罐体上端最高处。

作为优化，所述第二滤网固定于罐体底部。

作为优化，所述的出胶口位于罐体低部最低端，所述出胶泵位于出胶管路上。

本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，本实用新型的一种固体和胶液分离过滤装置，通过利用旋转筒体旋转使得废液中胶液利用离心作用甩在旋转筒壁的滤网上，从滤网甩出，而固体废物则留在旋转筒里；罐体底部二次过滤，并利用气压使胶液很容易地通过过滤网，通过泵体将过滤后的胶液抽出，使得废弃料中固体和胶液快速的分离，提高了胶液回收的生产效率。

附图说明

图1为本实用新型总体结构图；

其中，1电机，3套筒，4进料阀，5废料漏斗，6进气阀，8放气阀，9罐体，10出胶口，11出胶泵，12气压表，13第二滤网，21旋转轴，22旋转筒，221旋转盘，222过滤筒壁。

具体实施方式