[实用新型]适用于质量流量混合法的混气灌充误差补偿装置

权利要求书

1.一种适用于质量流量混合法的混气灌充误差补偿装置，其特征在于，包括：

混合缓冲罐，设置有分别用于通入第一气体和第二气体的两个进气通道，所述两个进气通道上分别设置有第一流量控制器和第二流量控制器；所述混合缓冲罐还设置有排气通道，通过增压装置与高压开关设备连通；

压力传感器，用于获取所述高压开关设备中压力；

气体纯度测试装置，用于获取所述高压开关设备内第一气体的浓度；

控制系统，与所述第一流量控制器、所述第二流量控制器、所述压力传感器以及所述气体纯度测试装置信号连接；

所述控制系统能够在灌充校正阶段向所述第一流量控制器和所述第二流量控制器发送第一控制信号以使所述第一流量控制器和所述第二流量控制器根据所述第一控制信号将所述第一气体和所述第二气体以第一气体目标浓度C灌充至所述混合缓冲罐混合后注入高压开关设备，至从所述压力传感器获取到的高压开关设备中压力达到预设的灌充校正阶段目标压力P₀；并从所述气体纯度测试装置获取所述高压开关设备内的第一气体的实测浓度C₀；

所述控制系统还能够在补偿阶段根据补偿阶段的第一气体灌充浓度及灌充修正系数k向所述第一流量控制器和所述第二流量控制器发送第二控制信号以使所述第一流量控制器和所述第二流量控制器根据所述第二控制信号将所述第一气体和所述第二气体灌充至所述混合缓冲罐混合后注入高压开关设备，至从所述压力传感器获取到的高压开关设备中压力达到灌充终点压力P，其中所述灌充修正系数k是根据所述实测浓度C₀及所述目标浓度C获取的，所述补偿阶段的第一气体灌充浓度是根据所述实测浓度C₀、所述目标浓度C、所述灌充校正阶段目标压力P₀及灌充终点压力P获取的。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

恒温加热装置，与所述控制系统信号连接，所述恒温加热装置设置于所述第一流量控制器和第二流量控制器前，使所述第一气体和所述第二气体分别经所述恒温加热装置加热至温度相同后进入所述第一流量控制器和第二流量控制器。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括：

温度传感器，与所述控制系统信号连接，用于检测进入所述恒温加热装置的所述第一气体的温度和所述第二气体的温度，并发送给所述控制系统，以使所述控制系统根据所述第一气体的温度和所述第二气体的温度向所述恒温加热装置发送加热控制信号。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制系统包括通信组件、处理器及存储器；

所述通信组件与所述第一流量控制器、所述第二流量控制器、所述压力传感器以及所述气体纯度测试装置信号连接。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述通信组件为无线通信组件。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述气体纯度测试装置设置于所述高压开关设备上，且所述气体纯度测试装置设置有无线通信模块，与所述通信组件无线连接。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述气体纯度测试装置还设置有可充电电池，用于对所述气体纯度测试装置供电。

8.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述恒温加热装置为气体加热过滤器。

9.根据权利要求1-8任一项所述的装置，其特征在于，所述第一气体为SF₆气体，所述第二气体为N₂气体或CF₄气体。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，还包括：

分别盛装有所述第一气体和所述第二气体的两个气瓶，所述两个气瓶分别与一所述进气通道连接。