[实用新型]一种用于生产清槽剂的限流阀

说明书

本实用新型公开了一种用于生产清槽剂的限流阀，包括竖直的进液管、位于所述进液管上的进液阀门、三个连接至所述进液管上的水平的支管、连接于所述支管的筒状的阀体、位于所述阀体内的柱状的阀芯；三个密封钉分别包括筒状部以及位于筒状部端部的帽部，所述帽部的远离所述筒状部的一端为球面状，所述筒状部的外侧壁设置有若干过水槽。采用上述技术方案，能够对流量进行控制，从而在不使用液泵的情况下达到控制流量的目的，进而保证生产安全。

技术领域

本实用新型涉及一种用于生产清槽剂的限流阀，属于蚀刻液生产设备技术领域。

背景技术

蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。清槽剂用于清洁蚀刻槽喷嘴、滚轮以及蚀刻槽壁干膜、湿膜分解物和附着物。通常清槽剂的制备是通过将原料按照配比进行混合，混合后形成的清槽剂注入药水罐进行存储。现有的清槽剂在进行灌注时，通常要使用到液泵，然而由于清槽剂具有腐蚀性，因此会对液泵造成损坏。因此可以采用的方式是在二楼设置混合罐，在一楼设置药水罐，通过清槽剂自身的重力作用进行灌注。但这种方式在灌注过程中得不到液泵的流量控制，导致快灌满时容易造成清槽剂飞溅出来，造成浪费，也造成腐蚀危险。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种不使用液泵进行灌注的用于生产清槽剂的限流阀。

为了实现上述目的，本实用新型的一种用于生产清槽剂的限流阀，包括竖直的进液管、位于所述进液管上的进液阀门、三个连接至所述进液管上的水平的支管、连接于所述支管的筒状的阀体、位于所述阀体内的柱状的阀芯；三个密封钉分别包括筒状部以及位于筒状部端部的帽部，所述帽部的远离所述筒状部的一端为球面状，所述筒状部的外侧壁设置有若干过水槽；三个所述密封钉的筒状部分别插入到三个所述支管内，在每个所述支管的连接于所述阀体的管口位置分别设置有密封环，所述帽部能够压在所述密封环上对所述支管进行密封；在所述筒状部内侧设置有一压缩弹簧，所述压缩弹簧一端顶在所述进液管的内侧壁上，另一端顶住所述帽部；所述阀芯上设置有竖直的滑槽，所述滑槽包括位于上部的让位槽部以及位于下部的压紧槽部，所述让位槽部与所述压紧槽部之间为倾斜的过渡段；当所述帽部顶在所述让位槽部的槽底时所述帽部与所述密封环具有间隙，当所述帽部顶在所述压紧槽部时所述帽部压紧所述密封环；所述阀芯的下端连接有立杆，所述立杆的下端设置有浮体；在所述阀芯内设置有过水通道，所述过水通道一端连通于所述压紧槽部，另一端连通于所述阀芯的下端面；所述阀体的下部设置有用于挡住所述阀芯的挡环。

所述浮体为环氧树脂泡沫材质。

采用上述技术方案，本实用新型的用于生产清槽剂的限流阀，由于将混合罐放置于二楼，而药水罐设置于一楼，因此不需要使用液泵进行抽取，利用清槽剂的重力就能够流入药水罐内；由于本实用新型中不需要使用液泵，因此对于灌注过程中的流量就得不到液泵的控制，因此设置了限流阀，通过限流阀上的三个支管进行注液，并且随着浮体上升并通过立杆带动阀芯上移，从而能够首先封闭一个支管，使灌注的总体流量减小，然后阀芯继续上升再封闭一个支管，使灌注的总体流量再次减小，最后当药水罐灌满时阀芯将最后一个支管封闭，从而通过这种方式对流量进行控制。采用上述技术方案，能够对流量进行控制，从而在不使用液泵的情况下达到控制流量的目的，进而保证生产安全。

附图说明

图1为清槽剂的生产工艺装置的结构示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

以下通过附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。