[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括谐振腔、耦合转换腔、以及分隔于谐振腔和耦合转换腔之间的介质窗口，

所述介质窗口具有一冷却腔体，该冷却腔体独立于所述谐振腔和耦合转换腔，

所述冷却腔体具有可与外部冷却回路连通的进口和出口，

所述介质窗口的材质为石英玻璃，

所述外部冷却回路为制冷的气体回路。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述介质窗口包括上层石英玻璃和下层石英玻璃，上层石英玻璃和下层石英玻璃围成所述冷却腔体。

3.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，工艺气体通过涡旋进气方式进入所述谐振腔，工艺气体在谐振腔内被激发放电形成球形的等离子体。

4.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述耦合转换腔通过水冷方式控温。

5.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述谐振腔的抽真空管路上设置有一密封板，该密封板上开设有至少一个气孔。

6.根据权利要求5所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述密封板上开设有一个气孔，该气孔的直径为0.5～1mm。

7.根据权利要求5所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述介质窗口与谐振腔之间通过1系铝环密封。

8.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，还包括微波源，微波源所产生的微波的功率为6～75kW，频率为915MHz～2.45GHz。

9.根据权利要求8所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，还包括波导管和模式转换天线，波导管连接于微波源和耦合转换腔之间；模式转换天线的底端延伸至耦合转换腔内。

10.根据权利要求9所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述波导管包括第一波导管和第二波导管，第二波导管连接于所述第一波导管和耦合转换腔的顶端之间，所述第二波导管与第一波导管垂直设置，模式转换天线与第二波导管同轴设置。