[实用新型]一种可拆卸式圆柱靶座结构

说明书

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种可拆卸式圆柱靶座结构，包括主体架、靶安装体、驱动机构、第一进水管、第二进水管和锁紧装置，所述驱动机构设置于所述主体架，所述靶安装体包括第一靶安装体及与所述第一靶安装体可拆卸连接的第二靶安装体，所述第一靶安装体与所述驱动机构的输出端连接，所述第二进水管置于所述第二靶安装体的内部，所述第一进水管穿过第一靶安装体且通过所述锁紧装置与所述第二进水管连接。上述结构的设置，使得本实用新型的驱动机构与磁流体密封部件实现分离，靶座拆卸与安装作业需求空间减少，且拆卸重量也适当减少，便于日常的维护，提高装夹效率并使得作业安全性得到保障。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种可拆卸式圆柱靶座结构。

背景技术

旋转圆柱靶自从在80年代发明以来，获得了广泛的应用，同时旋转圆柱靶不断改进完善。孪生旋转圆柱靶已广泛用于沉积低辐射膜、阳光控制膜的平板玻璃镀膜线上。全玻璃真空太阳集热管的镀膜机也采用旋转圆柱靶。与平面靶比较，旋转圆柱靶有如下多项优点:靶材利用率高；靶表面没有刻蚀槽，这是由于圆柱靶在溅射运行过程中，靶芯中的磁铁固定不动，靶管旋转；在反应溅射镀膜过程中弧光放电（通常称为‘打火’）次数少。

目前，现有的旋转圆柱靶都是采用整体式结构，这样的结构存在以下缺点：

1）安装与拆卸不方便：现有镀膜行业中，整体式旋转圆柱靶的靶管又长又大，自然重量也是较大的；因此，导致拆卸安装的不便；

2）厂房的高度比较高：现有的镀膜机（立式）腔室的高度达到了1.5m，故靶座升入腔室中的长度也将近1.4m，则炉体上方的预留高度至少需1.8 m，再加上镀膜机下部底座的高度则整体高度要求将超多4m；

3）作业安全性差：现有镀膜机自身高度达2米之多，更换靶座时需2人站在机器顶部作业，而靶座又大又长且笨重，故作业安全性没有保障；

导致以上缺点的原因是：现有整体式旋转圆柱靶支架是一个整体，且与磁流体密封部件连在一起，故无法单独拆卸安装，所以，靶必须要从设备顶部安装孔中取出与安装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：针对现有技术的不足，而提供一种可拆卸式圆柱靶座结构，在镀膜生产作业中，方便于圆柱靶座结构拆卸或维护，提高了换靶材效率。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种可拆卸式圆柱靶座结构，包括主体架、靶安装体、驱动机构、第一进水管、第二进水管和锁紧装置，所述驱动机构设置于所述主体架，所述靶安装体包括第一靶安装体及与所述第一靶安装体可拆卸连接的第二靶安装体，所述第一靶安装体与所述驱动机构的输出端连接，所述第二进水管置于所述第二靶安装体的内部，所述第一进水管穿过第一靶安装体且通过所述锁紧装置与所述第二进水管连接。

作为本实用新型所述的可拆卸式圆柱靶座结构的一种改进，所述主体架包括架体及设置于所述架体内部的容置腔，所述第一靶安装体容置于所述容置腔内。

作为本实用新型所述的可拆卸式圆柱靶座结构的一种改进，所述驱动机构为旋转电机。

作为本实用新型所述的可拆卸式圆柱靶座结构的一种改进，所述锁紧装置包括内螺纹部及与所述内螺纹部螺接的外螺纹部，所述内螺纹部设置于所述第一进水管端部，所述外螺纹部设置于所述第一进水管的端部。

作为本实用新型所述的可拆卸式圆柱靶座结构的一种改进，位于所述架体内部的第一进水管不超出所述架体的底部。