[实用新型]一种平铺式硅片烘干炉

说明书

一种平铺式硅片烘干炉，包括炉体和传输装置，炉体具有烘干加热段，烘干加热段包括若干烘干加热箱，烘干加热箱包括两个箱体，传输装置穿设在对合设置的两个箱体之间；针对每个箱体设有加热装置和风机；加热装置包括加热板，加热板的前后两侧与箱体的内壁相连接，而加热板的左右两侧与箱体的内壁之间留有间隙，加热板上设有若干贯通加热板正反两面的通风孔；在加热板背向传输装置的一侧面上罩设有内胆罩，内胆罩的罩口端沿四周与加热板四周密封连接，内胆罩的罩面中心设有进风口；箱体上设有自然进风口和自然出风口，自然进风口将箱体内壁与内胆罩之间的空间和箱体外部空间相连通，自然出风口将内胆罩的内部空间和箱体外部空间相连通。

技术领域

本实用新型属于太阳能硅片的制备领域，具体涉及一种平铺式硅片烘干炉，主要用于加工太阳能硅片。

背景技术

HIT太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，所谓HIT(Heterojunction with intrinsic Thinlayer)结构就是在P型氢化非晶硅和n型氢化非晶硅与n型硅衬底之间增加一层非掺杂(本征)氢化非晶硅薄膜。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主，在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜，表层再沉积透明导电膜，背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构，可以降低透明导电氧化层和a-Si层的光学吸收损耗。

HIT太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干，传统的做法是采用热风烘干炉加热，而现有的热风烘干炉主要是采用热风循环，不能单独精确有效地控制每个温区中的温度，而且每个温区中的加热温度不均匀，然而HIT太阳能光伏电池的硅片制备对温度控制精度要求、加热均匀的要求均非常高，由于存在这一重要致命缺点，最终导致硅片烘干效果不佳，成品率低。

鉴于此，提供一种平铺式硅片烘干炉是本实用新型所要研究的课题。

发明内容

本实用新型目的是提供一种平铺式硅片烘干炉，以解决现有技术不能单独精确有效地控制每个温区中的温度、且加热烘干温度不均匀，导致烘干效果不佳，成品率低的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种平铺式硅片烘干炉，包括炉体和传输装置，所述炉体具有烘干加热段，所述烘干加热段包括若干依次并行连接的烘干加热箱，所述烘干加热箱包括两个箱体，该两个箱体对合设置形成一保温空间，所述传输装置穿设在对合设置的两个箱体之间；

针对每个箱体设有一加热装置和一风机；所述加热装置包括加热板，该加热板平行传输装置设于箱体内，所述加热板的前后两侧与箱体的内壁相连接，而加热板的左右两侧与箱体的内壁之间留有间隙，所述加热板上设有若干贯通加热板正反两面的通风孔；

所述箱体内，在加热板背向传输装置的一侧面上罩设有一内胆罩，该内胆罩的罩口端沿四周与加热板四周密封连接，且内胆罩的罩面中心设有一进风口，所述风机的风叶伸入内胆罩的进风口内；

所述箱体上还设有一自然进风口和一自然出风口，所述自然进风口用于将箱体内壁与内胆罩之间的空间和箱体外部的空间相连通，所述自然出风口用于将内胆罩的内部空间和箱体外部的空间相连通；

在工作状态下，所述风机工作，外界的空气从自然进风口进入箱体内壁与内胆罩之间的空间，并从由风机送入内胆罩中，吹过加热板后，再进入箱体内壁与内胆罩之间的空间中，并从自然出风口送出箱体外部，由此使每个箱体形成一套单独热风循环系统。

上述技术方案中的有关内容解释如下：

1、上述方案中，所述加热板上插设有若干加热管。

2、上述方案中，所述加热板采用铝板。

3、上述方案中，所述风机采用离心风机。

4、上述方案中，还包括一冷却段，该冷却段并列设置在烘干加热段的出口端。