[实用新型]一种扫描电镜原位拉伸压缩装置有效

专利信息
申请号: 201820618311.8 申请日: 2018-04-24
公开(公告)号: CN208043543U 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 李继军;刘飞;张伟光;侯小虎;杨诗婷 申请(专利权)人: 内蒙古工业大学
主分类号: G01N3/06 分类号: G01N3/06;G01N3/08
代理公司: 合肥市泽信专利代理事务所(普通合伙) 34144 代理人: 方荣肖
地址: 010051 内蒙古*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 扫描电镜 丝杆螺母 本实用新型 底部支撑块 驱动电机 双向丝杆 压缩装置 原位拉伸 直线滑轨 从动轮 机械爪 手臂 啮合 实时动态观察 伺服电机轴 主动轮齿轮 传动连接 手臂固定 伺服电机 微观形态 箱体内部 形状样品 滑动块 主动轮 对向 拉伸 联接 穿过 压缩
【权利要求书】:

1.一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,其包括:

底部支撑块(1);

驱动电机(2),其固定安装在底部支撑块(1)一端;

双向丝杆(3),其一端与驱动电机(2)传动连接,且双向丝杆(3)上设有两个对向运动的丝杆螺母(4);

两个机械爪,其分别相对固定安装在两个丝杆螺母(4)上,每个机械爪包括:固定在丝杆螺母(4)上的箱体(5)、一端固定安装在箱体(5)内部一侧面的伺服电机(6)、一端与伺服电机(6)轴联接的直线滑轨(7)、穿过箱体(5)且与直线滑轨(7)上的滑动块(14)连接的第一手臂(8),与第一手臂(8)固定连接的主动轮(9)、与主动轮(9)齿轮啮合的从动轮(10)、与从动轮(10)固定连接的第二手臂(11)。

2.如权利要求1所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,在两个驱动电机(2)之间水平安装一光栅尺。

3.如权利要求2所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,光栅尺包括安装在底部支撑块(1)上的标尺光栅(12)和分别安装在两个箱体(5)上的两个光栅读数头(13);标尺光栅(12)和两个光栅读数头(13)位于所述扫描电镜原位拉伸压缩装置的同一侧。

4.如权利要求1所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,第一手臂(8)和第二手臂(11)呈对称弧形,向内弯曲。

5.如权利要求4所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,第一手臂(8)远离主动轮(9)的一端为尖端(15),尖端(15)上设有与样品槽相配合的凸起结构(16)。

6.如权利要求4所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,第二手臂(11)远离从动轮(10)的一端为尖端(15),尖端(15)上设有与样品槽相配合的凸起结构(16)。

7.如权利要求5或6所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,凸起结构(16)与相应手臂采用螺纹连接。

8.如权利要求5或6所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,尖端(15)活动范围为-90°—+90°。

9.如权利要求1所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,双向丝杆(3)通过联轴器与驱动电机(2)传动连接。

10.如权利要求1所述的一种扫描电镜原位拉伸压缩装置,其特征在于,第一手臂(8)与直线滑轨(7)上的滑动块(14)通过销轴连接。

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