[实用新型]LED金属蒸镀衬锅及其装置

说明书

本实用新型提供一种LED金属蒸镀衬锅及其装置，该衬锅包括：底座；槽体侧壁，实施槽体侧壁设置于底座；台阶凸起，设置于底座外侧壁上；其中，台阶凸起环绕底座并垂直LED金属蒸镀衬锅的轴线向外延伸形成；槽体侧壁的外壁与坩埚内壁间隔；槽体侧壁的一端与底座相连接，另一端向底座外延伸，并与底座成锐角。该衬锅通过设置侧壁空隙，使该衬锅的侧壁与坩埚间隔，即可避免衬锅的外壁与坩埚的内表面紧贴，从而实现所制得金属电极无黑点，并提高所得产品的良品率。

技术领域

本实用新型涉及LED(发光二极管)技术领域，具体的涉及一种LED金属蒸镀衬锅及其装置。

背景技术

随着第三代半导体技术的蓬勃发展，LED照明以节能，环保，亮度高，寿命长等优点，成为社会发展的焦点。但是相比传统的白炽灯与荧光灯相比，LED灯具的价格仍处于偏高水平，所以进一步降低LED的生产成本仍是LED照明行业的重要研究方向。

为了实现优良的导电性与稳定性，目前大多数LED芯片的电极结构的主材料都是黄金和铂金，但是黄金和铂金都是贵重金属，其价格不菲，导致LED芯片制造成本居高不下。目前各个LED厂商将提升性能的同时，降低成本作为提升产品竞争力的主要手段。成本是各大芯片厂十分重要的指标，但同时品质也是不可或缺的关键因素。

在采用高真空电子束镀膜方式下，利用电子枪产生的电子束，轰击欲蒸发的靶材使之受热蒸发，经电子加速极后沉积到晶片材料表面。但在镀膜过程中因靶材蒸发角度的问题，导致部分靶材附着于腔体内衬板上，在通过回收衬板上贵重金属回收时，将造成部分贵金属损耗掉，且存在回收成本。现有金属蒸镀衬锅，以减小口径来缩减蒸发角度，并以此来降低蒸镀过程中的金属用量。但该衬锅在使用中会造成芯片金属电极出现点状的杂质1’，如图1所示。该衬锅虽然能实现节约成本，但同时也降低了所得产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种LED金属蒸镀衬锅及其装置，该实用新型解决了现有衬锅使用过程中，易造成金属电极黑点，良品率过低的技术问题。

本实用新型提供一种LED金属蒸镀衬锅，包括：底座；槽体侧壁，实施槽体侧壁设置于底座；台阶凸起，设置于底座外侧壁上；其中，台阶凸起环绕底座并垂直LED金属蒸镀衬锅的轴线向外延伸形成；槽体侧壁的外壁与坩埚内壁间隔、或底座底面与坩埚内壁间隔、或槽体侧壁的外壁和底座底面均与坩埚内壁间隔；槽体侧壁的一端与底座相连接，另一端向底座外延伸，并与底座成锐角。

进一步地，LED金属蒸镀衬锅还包括槽体内腔，槽体侧壁围成用于容纳金属电极的槽体内腔。

进一步地，槽体内腔的槽底外壁上设置凹槽，凹槽的槽底与坩埚内底面间隔。

进一步地，凹槽的直径小于底座的直径，并设置于底座的的底面上。

进一步地，底座的底面上设有增高台，增高台垂直底座的底面向外延伸形成，增高台形成凹槽的侧壁。

进一步地，凹槽的深度为1～2mm。

进一步地，台阶凸起的台阶面长度为2～3mm。

本实用新型的又一方面提供了一种LED金属蒸镀装置，包括如上述的LED金属蒸镀衬锅和坩埚，LED金属蒸镀衬锅容纳设置于坩埚内；LED金属蒸镀衬锅内设有容纳金属电极的槽体内腔；LED金属蒸镀衬锅的外侧壁与坩埚的内侧壁相间隔，形成侧壁空隙。

进一步地，槽体内腔的外底面与坩埚的内底面相间隔，形成底部空隙。

进一步地，侧壁空隙的垂直距离为1～5mm；所述底部空隙的垂直距离为1～5mm。

本实用新型的技术效果：